PROCEDIMIENTO DE REGULACION DE UN HAZ DE IONES.
Procedimiento de regulación de un haz de iones que es emitido por un dispositivo de generación de haz de iones hacia un objetivo y que es apto para erosionar este objetivo,
estando caracterizado este procedimiento porque incluye una etapa de grabado de un motivo de prueba sobre el objetivo, según un motivo de referencia predeterminado digitalizado, una etapa de formación de una imagen digitalizada del motivo de prueba grabado y una etapa de diferenciación entre esta imagen digitalizada del motivo de prueba grabado y la imagen digitalizada del motivo de referencia predeterminado, y porque se repiten estas etapas después de la modificación de al menos un parámetro de regulación del dispositivo, hasta la obtención de una regulación conveniente.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS).
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: 3, RUE MICHEL ANGE,75016 PARIS.
Inventor/es: GIERAK, JACQUES, SEPTIER, ALBERT, LAGADEX,YVON.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 26 de Marzo de 2002.
Fecha Concesión Europea: 27 de Agosto de 2008.
Clasificación PCT:
- H01J27/02 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 27/00 Tubos de haz iónico (H01J 25/00, H01J 33/00, H01J 37/00 tienen prioridad; aceleradores de partículas H05H). › Fuentes de iones; Cañones de iones.
- H01J27/22 H01J 27/00 […] › Fuentes de iones metálicos.
- H01J37/30 H01J […] › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de haz electrónico o iónico para tratamientos localizados de objetos.
- H01J37/305 H01J 37/00 […] › para colar, fundir, evaporar o decapar.
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Finlandia, Chipre.
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