PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE UNA NANOPELICULA BASADA EN TI-O-C ULTRAHIDROFILA.
Un procedimiento para fabricar una nanopelícula basada en Ti-O-C ultrahidrófila,
que comprende: #- colocar un sustrato cuya superficie se va a tratar en una cámara de reacción al vacío en la que se instala al menos un electrodo; #- introducir en la cámara de reacción un gas precursor de Ti, un gas reactivo seleccionado de aire u oxígeno, y un catalizador volátil que tiene un bajo punto de ebullición como acelerante del depósito de Ti; #- aplicar un alto voltaje al electrodo y, por tanto, cambiar los gases introducidos a un estado de plasma; y #- formar una nanopelícula basada en Ti-O-C sobre al menos una superficie del sustrato.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: LG ELECTRONICS INC..
Nacionalidad solicitante: República de Corea.
Dirección: 20 YOIDO-DONG YONGDUNGPO-GU,YONGDUNGPO-GU SEOUL 150-010.
Inventor/es: JUN,HYUN-WOO, JEONG,YOUNG-MAN, JUNG,CHANG-IL.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 8 de Abril de 2009.
Clasificación PCT:
- C23C16/18 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › a partir de compuestos organometálicos.
- C23C16/30 C23C 16/00 […] › Deposición de compuestos, de mezclas o de soluciones sólidas, p. ej. boruros, carburos, nitruros.
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