APARATO VAPORIZADOR PARA INTRODUCIR MATERIAL SUMINISTRADOR DE IONES EN UN EQUIPO DE IMPLANTACION DE IONES.

APARATO VAPORIZADOR PARA INTRODUCIR MATERIAL SUMINISTRADOR DE IONES EN UN EQUIPO DE IMPLANTACION DE IONES,

EN DONDE DICHO APARATO ESTA PREVISTO PARA SER MONTADO EN UNA CAMARA DE VACIO PERTENECIENTE AL EQUIPO DE IMPLANTACION DE IONES, CON EL FIN DE CONSEGUIR UNA PROYECCION DEL MATERIAL SUMINISTRADOR DE IONES HACIA EL REFERIDO EQUIPO DE IMPLANTACION IONICA, PARA QUE ESTE EFECTUE LA PROPIA IMPLANTACION DE IONES SOBRE DETERMINADAS PIEZAS O ELEMENTOS, TALES COMO SEMICONDUCTORES, PARA MODIFICAR LAS PROPIEDADES DE ESTOS, CARACTERIZADO PORQUE EL REFERIDO APARATO VAPORIZADOR SE CONSTITUYE A PARTIR DE UN BLOQUE PREFERENTEMENTE PRISMATICO, DE MATERIAL ALTAMENTE CONDUCTOR, EL CUAL ESTA AFECTADO DE TRES ALOJAMIENTOS VERTICALES, DOS DE LOS CUALES SE CONTINUAN POR LA PARTE SUPERIOR DEL BLOQUE EN SENDOS TUBOS FIJADOS POR SU EXTREMO A UNA PLACA SUPERIOR DE CIERRE, CONSTITUTIVA DEL MEDIO DE MONTAJE Y ACOPLAMIENTO DEL PROPIO APARATO VAPORIZADOS SOBRE EL EQUIPO DE IMPLANTACION DE IONES, ESTANDO EL TERCER ALOJAMIENTO PREFERENTEMENTE REALIZADO ENTRE LOS DOS ANTERIORES Y PROLONGADOS SUPERIORMENTE EN UNA PORCION TUBULAR DE MENOR ALTURA CON FACULTAD DE DESPLAZARSE AXIALMENTE EN EL INTERIOR DEL ALOJAMIENTO, DE MANERA QUE SOBRE EL EXTREMO SUPERIOR DE DICHA PORCION TUBULAR VA FIJADO MEDIANTE ROSCA EL EXTREMO INFERIOR Y REGRUESADO DE UNA VARILLA EMPUJADORA QUE ES PASANTE POR UN ORIFICIO CON CUELLO DE LA PLACA SUPERIOR DEL APARATO, EMERGIENDO TAL VARILLA POR ENCIMA DE DICHA PLACA Y QUEDANDO ENFRENTADA POR SU EXTREMO SUPERIOR AL EXTREMO DE UN VASTAGO REMATADO EXTERNA Y SUPERIORMENTE EN UN MANGO, VASTAGO QUE PRESENTA UN TRAMO ROSCADO PARA SU FIJACION A UNA ENVOLVENTE QUE POR SU BORDE INFERIOR QUEDA FIJADA, TAMBIEN MEDIANTE ROSCA, A UN CASQUILLO DE CIERRE HERMETICO SUPERPUESTO AL BORDE SUPERIOR DEL CUELLO QUE EMERGE DE LA PLACA SUPERIOR DE CIERRE, CON LA INTERPOSICION DE UNA JUNTA DE HERMETICIDAD, Y CUYO CUELLO TIENE UN FILETE DE ROSCA EXTERNO PARA LA FIJACION DE UN CABEZAL DE RETENCION DE TODO EL CONJUNTO SOBRE EL ALUDIDO CUELLO; HABIENDOSE PREVISTO QUE UNO DE LOS ALOJAMIENTOS DEL BLOQUE TERMOCONDUCTOR Y CORRESPONDIENTE TUBO EN QUE SE PROLONGA TAL ALOJAMIENTO CONTENGAN UN CONDUCTO DE CIRCULACION DE FLUJO DE GAS QUE PENETRA A TRAVES DE UN ORIFICIO PRACTICADO AL EFECTO EN LA PLACA SUPERIOR DE CIERRE, MIENTRAS QUE EL OTRO ALOJAMIENTO DEL BLOQUE TERMOCONDUCTOR ALOJA UN ELEMENTOCALENTADOR ALIMENTADO POR UN CABLE ELECTRICO QUE DISCURRE POR EL TUBO O PROLONGACION DE TAL ALOJAMIENTO Y SALE AL EXTERIOR DE LA PLACA DE CIERRE A TRAVES DE UN NUEVO ORIFICIO PREVISTO EN ESTA; CON LA PARTICULARIDAD DE QUE LA TEMPERATURA DEL CALENTADOR Y GAS CIRCULANTE ES CONTROLADA MEDIANTE RESPECTIVOS TERMOPARES ALOJADOS EN CORRESPONDIENTES TUBOS DISPUESTOSENTRE LA PLACA SUPERIOR DE CIERRE Y EL BLOQUE TERMOCONDUCTOR, Y CUYOS TUBOS QUEDAN ENFRENTADOS A SENDOS ALOJAMIENTOS DE PEQUEÑO DIAMETRO PRACTICADOS AL EFECTO EN EL PROPIO BLOQUE TERMOCONDUCTOR.