DETERMINACION DEL ESPESOR DE UNA CAPA ELECTROCONDUCTORA.
LA INVENCION SE REFIERE A UN PROCEDIMIENTO QUE APLICA EL PRINCIPIO DE PRUEBA POR CORRIENTES DE FOUCAULT,
ASI COMO A UN DISPOSITIVO PARA DETERMINAR EL ESPESOR (D R ) DE UNA CAPA PROTECTORA (1), CONDUCTORA DE LA ELECTRICIDAD, QUE SE DEPOSITA ENCIMA DE UN SUSTRATO (2) TAMBIEN CONDUCTOR. LAS CONDUCTIVIDADES ELECTRICAS DE LA CAPA (1) Y DEL SUSTRATO (2) SON DIFERENTES ENTRE SI. UNA BOBINA EXCITADORA (3), ATRAVESADA POR UNA CORRIENTE ELECTRICA DE ALTA FRECUENCIA SE APROXIMA A LA CAPA (1), Y EN ESPECIAL SE PONE EN CONTACTO CON LA MISMA, CON EL FIN DE GENERAR UNA CORRIENTE DE FOUCAULT EN LA CAPA (1) Y EN EL SUSTRATO BAJO ELLA (2). SE DETERMINA UN VALOR REFERIDO A LA IMPEDANCIA DE UNA BOBINA DE PRUEBA (9), Y ESTE VALOR SIRVE DE PUNTO DE PARTIDA PARA DETERMINAR EL ESPESOR (D R ), POR EJEMPLO POR C OMPARACION CON VALORES DE REFERENCIA CONOCIDOS. LA FRECUENCIA (F) DE LA CORRIENTE ELECTRICA DE ALTA FRECUENCIA SE SELECCIONA DE MANERA QUE SE OBTIENE LA DETERMINACION INEQUIVOCA DEL ESPESOR (D R ) DE LA CAPA (1) CUANDO LA RELACION ENTRE LAS COND UCTIVIDADES ELECTRICAS SE ENCUENTRA ENTRE 0,7 Y 1,5.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: WITTELSBACHERPLATZ 2,80333 MUNCHEN.
Inventor/es: BECKER, ERICH.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 10 de Diciembre de 1996.
Fecha Concesión Europea: 16 de Abril de 2003.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B7/06 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 7/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios eléctricos o magnéticos. › para la medida del espesor.
Países PCT: Suiza, Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Liechtensein, Países Bajos, Suecia, Oficina Europea de Patentes.
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