Sonda de medición para medir el grosor de capas delgadas así como un procedimiento para fabricar un elemento sensor para la sonda de medición.

Sonda de medición para medir el grosor de capas delgadas con una carcasa (14),

con al menos un elemento sensor (17), que está alojado en la carcasa (14) de manera que puede moverse a lo largo de un eje longitudinal (16) y que comprende al menos un dispositivo (44) de devanado, que está asociado al eje longitudinal (16), con una caperuza (21) de colocación que indica hacia el lado frontal externo (53) de la carcasa (14) que está dispuesta en el eje longitudinal (16), en donde la caperuza (21) de colocación presenta un cuerpo base (55), que presenta una sección (56) de núcleo cilíndrica y una cubierta polar (58) dispuesta en un lado frontal de la sección (56) de núcleo, caracterizada porque a la caperuza (21) de colocación está asociado el dispositivo (44) de devanado, que está configurada a partir de un soporte (49) en forma de disco o anular con al menos una bobina (51) de Arquímedes dispuesta encima y el cuerpo base (55) se compone de un material ferrítico y la cubierta polar (58) se compone de metal duro,

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2012/059691.

Solicitante: Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: Industriestrasse 21 71069 Sindelfingen ALEMANIA.

Inventor/es: FISCHER, HELMUT.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01B7/06 SECCION G — FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS.G01B 7/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios eléctricos o magnéticos. › para la medida del espesor.
  • G01N27/90 G01 […] › G01N INVESTIGACION O ANALISIS DE MATERIALES POR DETERMINACION DE SUS PROPIEDADES QUIMICAS O FISICAS (procedimientos de medida, de investigación o de análisis diferentes de los ensayos inmunológicos, en los que intervienen enzimas o microorganismos C12M, C12Q). › G01N 27/00 Investigación o análisis de materiales mediante el empleo de medios eléctricos, electroquímicos o magnéticos (G01N 3/00 - G01N 25/00 tienen prioridad; medida o ensayo de variables eléctricas o magnéticas o de las propiedades eléctricas o magnéticas de los materiales G01R). › utilizando las corrientes de Foucault.

PDF original: ES-2763330_T3.pdf

 

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