DISPOSITIVO DE DEPOSITO QUIMICO EN FASE VAPOR QUE UTILIZA UN PLASMA.
SE DESCRIBE UN APARTO PARA DEPOSITAR VAPOR QUIMICO DE PLASMA A FIN DE FORMAR UNA PELICULA DELGADA AMORFA,
UNA PELICULA DELGADA MICROCRISTALINA O UNA PELICULA DELGADA POLICRISTALINA SOBRE UNA SUPERFICIE DE UN SUBSTRATO DE ANTICATODO UTILIZANDO UNA DESCARGA LUMINISCENTE GENERADA POR UNA ENERGIA ELECTRICA SUMINISTRADA DE UNA FUENTE DE ENERGIA, QUE COMPRENDE UN DEPOSITO DE REACCION (31) MEDIOS (37) PARA SUMINISTRAR UN GAS REACTANTE AL INTERIOR DEL DEPOSITO DE REACCION (31), MEDIOS DE DESCARGA (38) PARA DESCARGAR UN GAS RESIDUAL DEL GAS REACTANTE FUERA DEL DEPOSITO DE REACCION (31), UN ELECTRODO (32) EN FORMA DE ESCALA PARA LA GENERACION DE DESCARGAS DISPUESTO DENTRO DEL DEPOSITO DE REACCION (31), UNA FUENTE DE ALIMENTACION (36) PARA SUMINISTRAR UNA ENERGIA DE ALTA FRECUENCIA ENTRE 30 Y 200 MHZ AL ELECTRODO EN FORMA DE ESCALA (32) PARA GENERAR UNA DESCARGA LUMINISCENTE, UN CALEFACTOR (34) PARA CALENTAR Y MANTENER UN SUBSTRATO DE ANTICATODO (33), CALEFACTOR (34) QUE ESTA DISPUESTO DENTRO DEL DEPOSITO DE REACCION (31) EN PARALELO CON EL ELECTRODO EN FORMA DE ESCALA (32) PARA LA GENERACION DE DESCARGAS, Y UN DISTRIBUIDOR DE ENERGIA (60) PARA DISTRIBUIR UNIFORMEMENTE UNA ENERGIA DE ALTA FRECUENCIA AL ELECTRODO EN FORMA DE ESCALA (32) PARA LA GENERACION DE DESCARGAS A TRAVES DE UN CABLE DE LA FUENTE DE ALIMENTACION (43A, 43B, 43C, 43D).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD..
Nacionalidad solicitante: Japón.
Dirección: 5-1, MARUNOUCHI 2-CHOME, CHIYODA-KU,,TOKYO 100-0005.
Inventor/es: MURATA, MASAYOSHI, TAKEUCHI, YOSHIAKI, MASHIMA, HIROSHI, TAKANO, AKEMI, YOSHIDA, HIROHISA.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 26 de Marzo de 2003.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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