DISPOSITIVO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS SOBRE UN SUBSTRATO.
LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS SOBRE UN SUBSTRATO (8),
ABARCANDO UNA FUENTE (14) DE CORRIENTE, QUE ESTA UNIDA CON UN CATODO (7), QUE SE DISPONE EN UNA CAMARA (5) DE VACIO Y CON UN OBJETIVO ACTUANDO CONJUNTAMENTE, ASI COMO UNA FUENTE (16) DE GAS DE PROCESO, QUE SE UNE CON LA CAMARA (5) DE VACIO. ENTRE LA CAMARA (5) DE VACIO Y LA FUENTE (16) DE GAS DE PROCESO SE CONECTA UNA VALVULA (12) DOSIFICADORA CONTROLADA POR MEDIO DE UN REGULADOR Y SE UNE CON AL MENOS UNA BOMBA (4) DE VACIO, CUYO LADO DE ASPIRACION SE CONECTA CON LA CAMARA (5) DE VACIO. SE CARACTERIZA A TRAVES DE UN SENSOR (3) DE MEDICION, EN PARTICULAR UN ELECTRODO DE MEDICION POTENCIOMETRICO, QUE COMPARA LA PORCION DE UN GAS EN LA CAMARA (5) DE VACIO O UNA CONDUCCION (17) DE AFLUENCIA, QUE SE UNE CON LA CAMARA (5) DE VACIO A TRAVES DE UN ELECTRODO DE REFERENCIA CON UN GAS DE REFERENCIA O UN CUERPO SOLIDO APLICADO EN EL ELECTRODO DE REFERENCIA. LA SEÑAL CONOCIDA O LA DIFERENCIA DE POTENCIAL OBTENIDA DE ACUERDO CON LA SITUACION SE GUIA A UNA UNIDAD (14) DE REGULACION QUE SE INCLUYE EN UN AMPLIFICADOR DE SEÑAL, QUE CONTROLA POR SU PARTE EL GENERADOR DE ABASTECIMIENTO DE CORRIENTE.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: LEYBOLD SYSTEMS GMBH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25,D-63450 HANAU AM MAIN.
Inventor/es: SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., TESCHNER, GOTZ, BRUCH, JURGEN.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 17 de Abril de 2002.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/35 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
- C23C14/54 C23C 14/00 […] › Control o regulación de los procesos de revestimiento.
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