INSTALACION DE TRATAMIENTO EN VACIO PARA APLICAR CAPAS SOBRE SUBSTRATOS.
EN UNA INSTALACION DE TRATAMIENTO AL VACIO PARA APLICAR CAPAS FINAS SOBRE SUSTRATOS (2,
2 ,...), POR EJEMPLO EN REFLECTORES DE FAROS, QUE COMPRENDE VARIAS ESTACIONES DE TRATAMIENTO (8,9,10) Y/O DE ESCLUSADO DE ENTRADA/SALIDA (20) UNIDAS A UNA PARED FIJA (16,16 ,...) DE LA CAMARA DE VACIO, ASI COMO UN CILINDRO INTERIOR (14) QUE SOPORTA LAS CAMARAS DE SUSTRATO (3-6) DE FORMA GIRATORIA Y RODEADO POR LA PARED DE LA CAMARA DE VACIO, SE HAN DISPUESTO EN LA PARED FIJA (16,16 ,...) DE LA CAMARA DE VACIO UNOS ORIFICIOS (24-27) QUE PUEDEN HACERSE COINCIDIR CON LAS CAMARAS DE SUSTRATO (3-6) Y A TRAVES DE LOS CUALES SE PUEDEN APLICAR LAS SUSTANCIAS DE TRATAMIENTO DE LOS SUSTRATOS (2,2 ,...), ASI COMO ABRIRSE Y CERRARSE. UNA DE LAS CAMARAS DE SUSTRATO, AL MENOS LA CAMARA DE ESCLUSA (20), PRESENTA UNA TAPA O COMPUERTA (33) QUE PERMITE EL ACCESO DIRECTO A LA CORRESPONDIENTE CAMARA DE SUSTRATO, PUDIENDOSE DESPLAZAR (A,B) LA CAMARA (20) HACIA EL CILINDRO INTERIOR (14) Y PRESIONARSE CONTRA LA PARED EXTERIOR DEL CILINDRO (14) O LA SUPERFICIE FRONTAL EN FORMA DE MARCO DE LA CAMARA DE SUSTRATO (3).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: LEYBOLD SYSTEMS GMBH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25,D-63450 HANAU AM MAIN.
Inventor/es: HENRICH, JURGEN, KLOBERDANZ, HERMANN, DR., HOFFMANN, JOSEF.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 13 de Junio de 2001.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/56 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.
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