INSTALACION DE RECUBRIMIENTO EN VACIO CON UNA CAMARA DE RECUBRIMIENTO Y AL MENOS UNA CAMARA DE ALIMENTACION.

LA INVENCION TRATA DE UN DISPOSITIVO EN PARTICULAR PARA UN EVAPORADOR DE DESCARGA EN ARCO DE VACIO INDUCIDO POR LASER PARA DEPOSITAR MULTIPLES CAPAS CON ELEVADA PUREZA Y ELEVADAS TASAS DE DEPOSICION SOBRE PIEZAS DE GRAN TAMAÑO.

DE ACUERDO CON LA INVENCION SE ENCUENTRA LA ALIMENTACION DEL MATERIAL PARA EL MATERIAL DE RECUBRIMIENTO EN UNA CAMARA DE ALIMENTACION, QUE SE PUEDE SEPARAR Y SE PUEDE DEJAR AL VACIO DE MANERA ESTANCA CON RESPECTO A LA CAMARA DE RECUBRIMIENTO, EN LA CUAL SE ENCUENTRA SITUADO EL SUSTRATO QUE SE VA A RECUBRIR. EL EVAPORADOR PUEDE, EN PARTICULAR, UTILIZARSE PARA LA DEPOSICION DE CAPAS DE CARBONO AMORFO QUE NO LLEVAN HIDROGENO Y QUE SON SUPERDURAS Y/O QUE CONTIENEN HIDROGENO, EN RELACION CON CAPAS DE METAL DE ELEVADA PUREZA O PARA LA DEPOSICION REACTIVA MEDIANTE PLASMA DE, POR EJEMPLO, CAPAS OBTENIDAS POR MEDIO DE LA OXIDACION, DE CARBURACION, DE NITRURACION O BIEN DE CAPAS CERAMICAS O DE UNA COMBINACION DE LAS DOS ULTIMAS. LAS CORRESPONDIENTES ALIMENTACIONES DEL PLASMA SE PUEDEN UNIR CON APROPIADAS CAMARAS DE RECUBRIMIENTO Y ASI SE PUEDEN COMBINAR CON PROCEDIMIENTOS NORMALES DE REVESTIMIENTO, P. E. LA PULVERIZACION MAGNETRONICA.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BAYERISCHE MOTOREN WERKE AKTIENGESELLSCHAFT
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: ,80788 MUNCHEN.

Inventor/es: SCHEIBE, HANS-JOACHIM, GIERSCH, DANIELA, SCHALAUSKY, ROBERT, MIELSCH, GOTZ.

Fecha de Publicación: 16 de Mayo de 2000.

Fecha Solicitud PCT: 10 de Julio de 1997.

Fecha Concesión Europea: 2 de Febrero de 2000.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C14/28 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por energía electromagnética o por radiación corpuscular (C23C 14/32 - C23C 14/48 tienen prioridad).
C23C14/32 C23C 14/00 […] › por explosión; por evaporación seguida de una ionización de vapores (C23C 14/34 - C23C 14/48 tienen prioridad).
C23C14/56 C23C 14/00 […] › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.

Países PCT: Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Suecia, Oficina Europea de Patentes.

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