PULIDO LINEAL Y METODO PARA LA PLANARIZACION DE PASTILLAS SEMICONDUCTORAS.

LA INVENCION SE REFIERE A UN PULIDOR DE PLAQUITA (10) Y METODO PARA LA PLANARIZACION MECANICO QUIMICA DE PLAQUITAS SEMICONDUCTORAS.

EL PULIDOR (10) INCLUYE UN SUJETADOR DE PLAQUITA (34) PARA SOPORTAR LA PLAQUITA SEMICONDUCTORA Y UN CONJUNTO DE PULIDO LINEAL (12) QUE TIENE UN ELEMENTO DE PULIDO (14) SITUADO PARA ENCAJAR EN LA SUPERFICIE DE LA PLAQUITA. EL ELEMENTO DE PULIDO (14) SE PUEDE MOVER EN UNA DIRECCION LINEAL EN RELACION A LA SUPERFICIE DE LA PLAQUITA PARA PULIR UNIFORMEMENTE LA SUPERFICIE DE LA PLAQUITA. UN DISPOSITIVO DE ALINEACION PIVOTAL (40,42) SE PUEDE UTILIZAR PARA SOPORTAR PIVOTALMENTE UNO DE LOS SUJETADORES DE PLAQUITA (34) Y EL ELEMENTO DE PULIDO (14) RELATIVO AL OTRO DEL SUJETADOR DE PLAQUITA (34) Y EL ELEMENTO DE PULIDO (14) CON LA SUPERFICIE DE LA PLAQUITA Y EL ELEMENTO DE PULIDO (14) MANTENIDO EN ALINEACION PARALELA DURANTE EL FUNCIONAMIENTO DEL PULIDOR. EL PULIDOR OPCIONALMENTE INCLUYE UNA POSICION DE ACONDICIONAMIENTO PARA ACONDICIONAR EL ELEMENTO PULIDOR.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: ONTRAK SYSTEMS, INC.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 1753 SOUTH MAIN STREET,MILPITAS, CALIFORNIA 95035.

Inventor/es: WELDON, DAVID EDWIN, HOMAYOUN, TALIEH.

Fecha de Publicación: 16 de Diciembre de 1999.

Fecha Concesión Europea: 27 de Octubre de 1999.

Clasificación Internacional de Patentes:

B24B21/04 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B24 TRABAJO CON MUELA; PULIDO. › B24B MAQUINAS, DISPOSITIVOS O PROCEDIMIENTOS PARA TRABAJAR CON MUELA O PARA PULIR (por electroerosión B23H; tratamiento por chorro abrasivo B24C; grabado o pulido electrolítico C25F 3/00 ); REAVIVACION O ACONDICIONAMIENTO DE SUPERFICIES ABRASIVAS; ALIMENTACION DE MAQUINAS CON MATERIALES DE RECTIFICAR, PULIR O ALISAR. › B24B 21/00 Máquinas o dispositivos que utilizan bandas o cintas abrasivas para trabajar con muela o pulir (máquinas portátiles con cintas abrasivas B24B 23/06 ); Accesorios a este efecto. › para trabajar con muela superficies planas.
B24B35/00 B24B […] › Máquinas o dispositivos para el superacabado de superficies, es decir, para el trabajo por medio de bloques abrasivos animados de un movimiento de vaivén de alta frecuencia (B24B 3/00 tiene prioridad).
B24B37/04 B24B […] › B24B 37/00 Máquinas o dispositivos de afinado de superficies; Accesorios (B24B 3/00 tiene prioridad). › diseñado para afinar superficies planas.
B24B41/06 B24B […] › B24B 41/00 Elementos constitutivos de maquinas o dispositivos abrasivos tales como bastidores, bancos, cabezales, carros. › Soportes de piezas, p. ej. lunetas regulables (B24B 37/27 tiene prioridad).
B24B7/22 B24B […] › B24B 7/00 Máquinas o dispositivos para trabajar con muela superficies planas de trabajo que incluyen el pulido de superficies planas de vidrio; Accesorios a este efecto (B24B 21/00 tiene prioridad; acabado de superficies de trabajo planas B24B 33/055). › para trabajar con muela materiales minerales, p. ej. piedra, cerámica o porcelana.

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