PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA LA DETERMINACION Y EL CONTROL DE LA COMPOSICION DE LA MEZCLA GASEOSA REACTIVA QUE ACTUA SOBRE UN SUBSTRATO EN EL TRANSCURSO DE UN TRATAMIENTO FISICO-QUIMICO BAJO ATMOSFERA RARIFICADA.
PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA LA DETERMINACION Y EL CONTROL DE LA COMPOSICION DE LA MEZCLA GASEOSA REACTIVA QUE ACTUA SOBRE UN SUBSTRATO EN EL TRANSCURSO DE UN TRATAMIENTO FISICO-QUIMICO BAJO ATMOSFERA RARIFICADA,
CUYO PROCEDIMIENTO CONSISTE EN EFECTUAR UN ANALISIS ESPECTROSCOPICO DE LAS EMISIONES DEL PLASMA DE VAPOR ENGENDRADO AL NIVEL DE UN BLANCO (10) SOMETIDO A UNA DESCARGA DE ARCO, DEDUCIR DEL RESULTADO DE ESTE ANALISIS LA CONCENTRACION DE LAS ESPECIES RADIANTES Y ACTUAR SOBRE LOS DIFERENTES PARAMETROS DE LA INSTALACION TALES COMO LOS CAMPOS ELECTRICOS Y MAGNETICOS APLICADOS AL BLANCO (10) ASI COMO SOBRE LOS FLUJOS DE GAS PARA MANTENER ESTA CONCENTRACION AL NIVEL DESEADO. LA INVENCION SE APLICA PRINCIPALMENTE A LOS DEPOSITOS DE CAPAS MONO O MULTI-ELEMENTOS TALES COMO CARBONITRUROS METALICOS SOBRE UN SUBSTRATO (3).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: INNOVATIQUE S.A.
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: 25, RUE DES FRERES LUMIERE CHASSIEU, 69680.
Inventor/es: BARAVIAN, GERARD, JACQUOT, PATRICK, DAMOND, ERIC, SULTAN, GILBERT.
Fecha de Solicitud: 20 de Abril de 1995.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 25 de Marzo de 1999.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/54 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Control o regulación de los procesos de revestimiento.
- G01N21/62 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01N INVESTIGACION O ANALISIS DE MATERIALES POR DETERMINACION DE SUS PROPIEDADES QUIMICAS O FISICAS (procedimientos de medida, de investigación o de análisis diferentes de los ensayos inmunológicos, en los que intervienen enzimas o microorganismos C12M, C12Q). › G01N 21/00 Investigación o análisis de los materiales por la utilización de medios ópticos, es decir, utilizando rayos infrarrojos, visibles o ultravioletas (G01N 3/00 - G01N 19/00 tienen prioridad). › Sistemas en los cuales el material analizado se excita de forma que emita luz o produzca un cambio de la longitud de onda de la luz incidente.
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