EVAPORADOR PARA UN REVESTIMIENTO DE BOBINA DE VACIO.

UN EVAPORADOR PARA GENERAR VAPOR POR DEPOSICION COMO REVESTIMIENTO SOBRE UN SUSTRATO DE BOBINA (21) EN UN PROCESO DE REVESTIMIENTO DE BOBINA DE VACIO COMPRENDE UNOS ELEMENTOS DE EVAPORACION (15,

32) COMPUESTOS DE ELEMENTOS DE SALIDA DE VAPOR (29) A TRAVES DE LOS CUALES SE TRANSPORTA EL MATERIAL DE REVESTIMIENTO (36) DESDE LOS ELEMENTOS (15,32) Y SE DEPOSITA SOBRE EL SUSTRATO (21). LOS ELEMENTOS DE EVAPORACION COMPRENDEN ADEMAS UNOS ELEMENTOS MEDIANTE LOS CUALES SE PUEDE SUMINISTRAR UN GAS INERTE A LOS ELEMENTOS (15,32) PARA ATENUAR LA EVAPORACION DEL MATERIAL Y/O ENFRIAR LOS MISMOS. POR ELLO, LA EVAPORACION PUEDE SER RAPIDAMENTE INTERRUMPIDA PARA PERMITIR LA RECOLOCACION DEL SUSTRATO Y/O DEL MATERIAL DE REVESTIMIENTO. EL GAS INERTE PUEDE RECIRCULARSE VENTAJOSAMENTE A TRAVES DE LOS ELEMENTOS DE REFRIGERACION Y ALGUNO O TODOS LOS GASES INERTES PUEDEN SER "RETROALIMENTADOS" EN LOS ELEMENTOS DE EVAPORACION A TRAVES DE LOS ELEMENTOS DE SALIDA DE VAPOR. EL APARATO POSIBILITA QUE LOS TIEMPOS DE PARADA EN EL PROCESO DE REVESTIMIENTO SEAN REDUCIDOS SIGNIFICATIVAMENTE.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: IMPERIAL CHEMICAL INDUSTRIES PLC.

Nacionalidad solicitante: Reino Unido.

Dirección: IMPERIAL CHEMICAL HOUSE, MILLBANK,LONDON SW1P 3JF.

Inventor/es: BAXTER, IAN KENNETH, WATKINS, KEITH, BISHOP, CHARLES ARTHUR, MCGEE, DAVID CHARLES.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 10 de Septiembre de 1997.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/24 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Evaporación en vacío.
  • C23C14/56 C23C 14/00 […] › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.
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