APARATO Y METODO DE VALVULA CON RANURA.
UN APARATO DE VALVULA CON RANURA (10) ASOCIADO CON UNA APERTURA (14) EN UNA PARED DE LA CAMARA (12) A TRAVES DEL CUAL PUEDE PASARSE UN DISCO SEMICONDUCTOR A LO LARGO DE UN PLANO DE TRANSFERENCIA (20).
EL APARATO (10) ESTA CARACTERIZADO POR UN ASENTAMIENTO DE VALVULA (20) EL CUAL ESTA EN ANGULO RELATIVO AL PLANO DE TRANSFERENCIA (20) Y UNA PUERTA (28) QUE SE MUEVE LINEALMENTE A LO LARGO DE UN EJE (54) SUSTANCIALMENTE PERPENDICULAR AL ASIENTO DE LA VALVULA (20). TODAS LAS PARTES ENGANCHADAS POR FRICCION DEL MONTAJE DE VALVULA CON RANURA (10) ESTAN AISLADAS DEL INTERIOR DE LA CAMARA (48) MEDIANTE UN MANGUITO EN FUELLE (46) PARA REDUCIR LA FORMACION DE PARTICULAS. EL METODO SE CARACTERIZA POR LOS PASOS DE RODEAR LA APERTURA (14) CON UNA PRIMERA SUPERFICIE DE ASENTAMIENTO (24) QUE DEFINE UN PLANO DE SELLADO (26) QUE ESTA ANGULARMENTE DISPUESTO CON RESPECTO AL PLANO DE TRANSFERENCIA (20) Y ENGANCHANDO O DESENGANCHANDO UNA SEGUNDA SUPERFICIE DE ASIENTO (30) DENTRO DE LA PRIMERA SUPERFICIE (24) POR EL MOVIMIENTO LINEAL DE LA SEGUNDA SUPERFICIE (30) EN UNA DIRECCION PERPENDICULAR AL PLANO DE SELLADO (26).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: APPLIED MATERIALS, INC..
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: PO BOX 58039, SANTA CLARA CALIFORNIA 95052.
Inventor/es: TEPMAN, AVI, ANDREWS, DANA L.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 10 de Agosto de 1994.
Clasificación Internacional de Patentes:
- F16K1/10 MECANICA; ILUMINACION; CALEFACCION; ARMAMENTO; VOLADURA. › F16 ELEMENTOS O CONJUNTOS DE TECNOLOGIA; MEDIDAS GENERALES PARA ASEGURAR EL BUEN FUNCIONAMIENTO DE LAS MAQUINAS O INSTALACIONES; AISLAMIENTO TERMICO EN GENERAL. › F16K VALVULAS; GRIFOS; COMPUERTAS; FLOTADORES PARA ACCIONAMIENTO; DISPOSITIVOS PARA VENTILAR O AIREAR. › F16K 1/00 Válvulas de cierre vertical, es decir, dispositivos obturadores cuyo elemento de cierre posee por lo menos una componente del movimiento de apertura o de cierre perpendicular a la superficie de obturación (dispositivos de obturación mediante diafragma F16K 7/00). › en las cuales el husillo está inclinado con relación a la dirección general del flujo.
- F16K51/02 F16K […] › F16K 51/00 Otros detalles no particulares a los tipos de válvulas o llaves u otros aparatos de obturación. › especialmente concebidos para las instalaciones de vacío forzado.
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