INSTALACION DE REVESTIMIENTO AL VACIO.

EN UNA INSTALACION DE TRATAMIENTO AL VACIO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS SOBRE SUSTRATOS CON FORMA DE CUBETA (2,

2', ), CON VARIAS ESTACIONES DE TRATAMIENTO (8, 9) Y ESCLUSAS (10, 20) SOPORTADAS POR UNA PARED DE CAMARA DE VACIO CILINDRICO-CIRCULAR FIJA (7) DE LA CAMARA DE VACIO, POR LO DEMAS CERRADA, Y CON UN CILINDRO DE PARED INTERIOR (14) Y APOYO GIRATORIO, RODEADO POR LA PARED DE LA CAMARA DE VACIO, QUE SOPORTA LAS CAMARAS DE SUSTRATO (3 A 6), EN DONDE EN LA PARED DE LA CAMARA DE VACIO (7) SE HAN PREVISTO ABERTURAS (25, 26, 27, 28) CON LAS QUE PUEDEN PONERSE A CUBIERTO LAS CAMARAS DE SUSTRATO (3 A 6) Y A TRAVES DE LAS CUALES LOS MEDIOS DE TRATAMIENTO PUEDEN ACTUAR EN LOS SUSTRATOS (2, 2', ), Y CON UNA PARED EXTERIOR (16, 16', ) QUE ENCIERRA DESDE FUERA LA PARED DE LA CAMARA DE VACIO (7) HAY DOS ESTACIONES DE ESCLUSAS (10, 20) DIAMETRALMENTE OPUESTAS, SITUADAS EN POSICION TANGENCIAL RESPECTO A LA PARED EXTERIOR DE LA CAMARA DE VACIO (7), TENIENDO ASIGNADA CADA UNA DE LAS DOS ESTACIONES (10, 20) UN TRANSPORTADOR DE SUSTRATO (19 Y 22) QUE TRANSPORTA ALTERNATIVAMENTE UN SUSTRATO A O DE LA CAMARA DE ESCLUSAS (10, 20), DEPENDIENDO LA ENTRADA Y LA SALIDA DE LOS SUSTRATOS (2, 2', ) QUE SE ENCUENTRAN EN LA ZONA DE LAS ESCLUSAS DEL GIRO DEL CILINDRO INTERIOR.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: LEYBOLD SYSTEMS GMBH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25,D-63450 HANAU AM MAIN.

Inventor/es: PATZ, ULRICH, DR., ICKES, GERD.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 24 de Mayo de 2000.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/56 QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.
INSTALACION DE REVESTIMIENTO AL VACIO.

Patentes similares o relacionadas:

Chapa de acero pintada dotada de un revestimiento de zinc, del 11 de Marzo de 2020, de Arcelormittal: Chapa de acero dotada de un revestimiento que comprende al menos una capa de zinc puro, en su caso constituida por impurezas inevitables durante la producción, y […]

Dispositivo para la formación de recubrimientos sobre superficies de una pieza constructiva, un material en forma de banda o una herramienta, del 20 de Noviembre de 2019, de THYSSENKRUPP STEEL EUROPE AG: Dispositivo para la formación de recubrimientos sobre superficies de una pieza constructiva, un material en forma de banda o una herramienta, en el que al menos […]

Procedimiento de revestimiento de un substrato, instalación de aplicación del procedimiento y dispositivo metálico de alimentación de tal instalación, del 12 de Noviembre de 2019, de Arcelormittal: Procedimiento de revestimiento de al menos una cara de un substrato en deslizamiento, por evaporación en vacío mediante plasma de una capa metálica […]

Sistema y método de deposición de vapor, del 4 de Septiembre de 2019, de Quantum Innovations, Inc: Un sistema de deposición , que comprende: una carcasa del sistema que tiene un armazón de la carcasa, unos paneles de la carcasa […]

Imagen de 'Conjuntos de metalizador en línea y sistemas de transportador…'Conjuntos de metalizador en línea y sistemas de transportador de recubrimiento de piezas que incorporan los mismos, del 24 de Julio de 2019, de Marca Machinery LLC: Un conjunto de metalizador en línea que comprende: una pluralidad de portapiezas , cada uno adaptado para contener una pluralidad […]

Chapa de acero dotada de un revestimiento de zinc, del 5 de Junio de 2019, de Arcelormittal: Chapa de acero 3 dotada de un revestimiento que comprende al menos una capa de zinc obtenida por un procedimiento de revestimiento por depósito al vacío por chorro de […]

Dispositivo de revestimiento modular, del 8 de Mayo de 2019, de AGC GLASS EUROPE: Un dispositivo de revestimiento modular bajo vacío que tiene al menos un módulo que comprende al menos una zona de revestimiento con al menos un compartimento fuente […]

Procedimiento y dispositivo para ahorrar energía y al mismo tiempo aumentar la velocidad de paso en las instalaciones de recubrimiento al vacío, del 1 de Mayo de 2019, de GRENZEBACH MASCHINENBAU GMBH: Dispositivo de recubrimiento mediante pulverización, que se compone de en una serie de segmentos de pulverización y de segmentos de separación de gases […]

Utilizamos cookies para mejorar nuestros servicios y mostrarle publicidad relevante. Si continua navegando, consideramos que acepta su uso. Puede obtener más información aquí. .