SISTEMA DE REPARTO QUIMICO DE ALTA PUREZA.

SE DESCRIBEN UN METODO Y UN APARATO PARA REPARTIR PRODUCTOS QUIMICOS HIGROSCOPICOS CORROSIVOS, TALES COMO EL CLORURO DE HIDROGENO, DE UNA FUENTE, TAL COMO UN TUBO DE REMOLQUE, A UN PUNTO DE USO, TAL COMO UNA HERRAMIENTA DE FABRICACION SEMICONDUCTORA, MINIMIZANDO LA INFILTRACION DE HUMEDAD Y LA ENTRADA DE PARTICULAS, A LA VEZ QUE SE REDUCEN LOS CONTENIDOS DE HUMEDAD POR DEBAJO DE 100 PARTES POR BILLON Y SE ADQUIEREN LAS PERDIDAS DE PRESION APROPIADAS SIN NECESIDAD DE UN FLUJO DE DOS FASES. EL APARATO COMPRENDE:

(A) UN CONDUCTO DE REPARTO (12) PARA LA CONEXION A DICHA FUENTE DE PROVISION (10) DE DICHO PRODUCTO QUIMICO Y A DICHO PUNTO DE USO (34); (B) UN DESHIDRATADOR CALENTADO (18) CONECTADO A DICHO CONDUCTO DE REPARTO PARA EXTRAER HUMEDAD DE DICHO PRODUCTO QUIMICO MIENTRAS PASA A TRAVES DE DICHO CONDUCTO; (C) AL MENOS UN REGULADOR DE PRESION (22) CONECTADO A DICHO CONDUCTO DE REPARTO PARA REDUCIR LA PRESION DE DICHA FUENTE DE PROVISION DE ELEVADA PRESION A DICHO PUNTO DE USO DE PRESION MAS BAJA; (D) POR LO MENOS UN DISPOSITIVO (20) PARA CALENTAR DICHO PRODUCTO QUIMICO MIENTRAS PASA A TRAVES DE AL MENOS UN REGULADOR DE PRESION; Y (E) UN DISPOSITIVO DE VACIADO (16) PARA EVACUAR DICHO PRODUCTO DE REPARTO EN LA OPERACION DE CONECTAR DICHO CONDUCTO DE REPARTO A DICHA FUENTE DE PROVISION Y/O DICHO PUNTO DE USO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 7201 HAMILTON BOULEVARD,ALLENTOWN, PA 18195-1501.

Inventor/es: .

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 4 de Septiembre de 1996.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento químico por descomposición de compuestos... > C23C16/44 (caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad))
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