Método de texturización de las superficies de obleas de silicio.

(29/10/2018). Solicitante/s: UNIVERSITAT KONSTANZ. Inventor/es: FATH, PETER, HAUSER,ALEXANDER, MELNYK,IHOR.

Método para la texturización de las superficies de obleas de silicio, que comprende las etapas de inmersión de la oblea de silicio en una solución de grabado al agua fuerte de agua, ácido fluorhídrico con una concentración de al menos 50% y ácido nítrico con una concentración de al menos 65% y colocando una temperatura para la solución de grabado al agua fuerte, caracterizado en que la solución de grabado al agua fuerte comprende solamente 20% a 55% de agua, 10% a 40% de ácido fluorhídrico con una concentración de al menos 50% y 20% a 60% de ácido nítrico con una concentración de al menos 65% y que la temperatura de la solución de grabado al agua fuerte está en el rango de 0ºC a 15ºC.

PDF original: ES-2314393_T3.pdf

PDF original: ES-2314393_T5.pdf