Accionadores de MEMS.
(19/02/2016) Un accionador en voladizo de MEMS que está montado sobre un sustrato , comprendiendo el accionador : un miembro de brazo caliente alargado que tiene dos porciones separadas , provista cada una en un extremo con una almohadilla de anclaje correspondiente que está conectada con el sustrato , estando conectadas las porciones entre sí en un extremo común que es opuesto con respecto a las almohadillas de anclaje ; un miembro de brazo frío alargado adyacente y sustancialmente paralelo con respecto al miembro de brazo caliente , teniendo el miembro de brazo frío en un extremo una almohadilla de anclaje que está conectada con el sustrato , y un extremo…