Válvula de estrangulación de múltiples paletas.
(04/05/2016) Una válvula de estrangulación de múltiples paletas para una cámara de proceso de vacío, comprendiendo la válvula: un cuerpo de cámara de estrangulación que tiene una parte interior expuesta a la cámara de proceso de vacío y una parte exterior expuesta a la presión atmosférica, definiendo el cuerpo de cámara una abertura de paso para el control del vacío en el interior de la cámara de proceso de vacío; una pluralidad de paletas giratorias montadas en el interior de la abertura de paso para el control de un flujo de gases que pasan a través de la abertura de paso , en la que cada paleta giratoria incluye un…