Método para controlar un suministro de gas a una bomba de vacío.
(12/06/2019) Un método para regular la temperatura en un canal de salida de un elemento de vacío, comprendiendo el método el paso de: - proporcionar una válvula de regulación de presión en un canal de entrada, estando dicho canal de entrada en comunicación fluida directa con el elemento de vacío, regulando dicha válvula la presión dentro del elemento de vacío al ajustar el volumen de fluido que fluye entre un canal de proceso y el elemento de vacío en relación con la diferencia entre el valor de presión dentro de dicho elemento de vacío y un valor de presión establecido; caracterizado porque el método comprende además los pasos de: - iniciar el elemento de vacío e iniciar un ciclo de prepurga conectando el canal de entrada del elemento de vacío a un suministro de gas de purga durante un intervalo de tiempo preseleccionado; …