Procedimiento para la determinación de la altura de un objeto.
Procedimiento para determinar la altura de un objeto (12) en una primera ubicación lateral del objeto (12) mediante un microscopio (10,
100, 200), el cual representa el objeto (12) con una función de borrosidad de imágenes de puntos (PSF) a lo largo de una dirección z que coincide con la dirección de la altura, el cual comprende las etapas
- representar el objeto (12) con el microscopio (10, 100, 200) en el campo amplio y determinar la intensidad del campo amplio (Iw),
- calcular la intensidad máxima (Imax*), esperada en la primera ubicación, mediante la multiplicación de la intensidad del campo amplio (Iw) con un factor de escala (Sk) predeterminado,
- representar de manera parcialmente confocal el objeto (12) en la primera ubicación con el foco en una posición de medición (z1) en la dirección z, donde, para la toma parcialmente confocal, se utiliza un equipo estenopeico (18, 118, 218) con una abertura que es mayor que el límite de difracción, y donde la representación parcialmente confocal fija un rango de profundidad de campo y el foco se encuentra en el rango de profundidad de campo, y determinar una intensidad parcialmente confocal (I1) de la representación parcialmente confocal en la primera ubicación,
- calcular la intensidad (l1*) correspondiente a la función de borrosidad de imágenes de puntos (PSF) en la primera ubicación mediante la determinación de la diferencia entre la intensidad parcialmente confocal (I1) y el producto de la intensidad del campo amplio (Iw) con un factor de enlace (Vk) predeterminado,
- calcular la coordenada z (zh) del foco en la que la función de borrosidad de imágenes de puntos (PSF) es máxima, utilizándose una forma conocida previamente de la
- función de borrosidad de imágenes de puntos (PSF), de la intensidad (I1*) calculada, correspondiente a la función de borrosidad de imágenes de puntos (PSF), y de la intensidad máxima (Imax*) esperada calculada, y
- utilizar la coordenada z (Zh) como altura del objeto (12) en la primera ubicación.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2016/080771.
Solicitante: Carl Zeiss Microscopy GmbH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena ALEMANIA.
Inventor/es: LANGHOLZ,NILS, DRESCHER,VIKTOR.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B11/06 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida del espesor.
- G02B21/00 G […] › G02 OPTICA. › G02B ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS (G02F tiene prioridad; elementos ópticos especialmente adaptados para ser utilizados en los dispositivos o sistemas de iluminación F21V 1/00 - F21V 13/00; instrumentos de medida, ver la subclase correspondiente de G01, p. ej. telémetros ópticos G01C; ensayos de los elementos, sistemas o aparatos ópticos G01M 11/00; gafas G02C; aparatos o disposiciones para tomar fotografías, para proyectarlas o para verlas G03B; lentes acústicas G10K 11/30; "óptica" electrónica e iónica H01J; "óptica" de rayos X H01J, H05G 1/00; elementos ópticos combinados estructuralmente con tubos de descarga eléctrica H01J 5/16, H01J 29/89, H01J 37/22; "óptica" de microondas H01Q; combinación de elementos ópticos con receptores de televisión H04N 5/72; sistemas o disposiciones ópticas en los sistemas de televisión en colores H04N 9/00; disposiciones para la calefacción especialmente adaptadas a superficies transparentes o reflectoras H05B 3/84). › Microscopios (oculares G02B 25/00; sistemas polarizantes G02B 27/28; microscopios de medida G01B 9/04; micrótomos G01N 1/06; técnicas o aparatos de sonda de barrido G01Q).
PDF original: ES-2741809_T3.pdf
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