Procedimiento de fabricación de un sensor de presión y sensor correspondiente.

Procedimiento de fabricación de un sensor de presión que comprende las etapas siguientes:

ensamblar (E1) un sustrato de soporte (10) con una membrana deformable (20) en la que se han depositado unas galgas extensométricas (30), comprendiendo la membrana deformable una zona adelgazada (20b) en su centro, estando dispuesto el sustrato de soporte (10) por encima de la membrana deformable (20), comprendiendo el sustrato de soporte (10) una superficie superior (101), una superficie inferior (102) en contacto con la membrana deformable (20), comprendiendo además el sustrato de soporte (10) unos rebajes laterales (11) dispuestos por encima y frente a las galgas extensométricas (30) y un rebaje central (50) dispuesto por encima de la zona adelgazada (20b) de la membrana (20), esto para obtener una estructura micromecánica; y una vez efectuado el ensamblaje, el procedimiento comprende la etapa siguiente:

depositar (E2) en una única etapa, por lo menos un material conductor (60) sobre la superficie superior (101) del soporte y en los rebajes laterales (11) del soporte (10), extendiéndose el material conductor (60) en los rebajes (11) para estar en contacto directo con las galgas extensométricas (30) a fin de formar unos contactos eléctricos (61) en conexión con las galgas extensométricas (30).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2013/054531.

Solicitante: AUXITROL SA.

Nacionalidad solicitante: Francia.

Dirección: 5, allée Charles Pathé 18000 Bourges FRANCIA.

Inventor/es: BRIDA,SEBASTIANO, LE NEAL,JEAN-FRANÇOIS.

Fecha de Publicación: 29 de Mayo de 2019.

Clasificación Internacional de Patentes:

B32B38/08 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B32 PRODUCTOS ESTRATIFICADOS. › B32B PRODUCTOS ESTRATIFICADOS, es decir, HECHOS DE VARIAS CAPAS DE FORMA PLANA O NO PLANA, p. ej. CELULAR O EN NIDO DE ABEJA. › B32B 38/00 Operaciones auxiliares relacionadas con los procesos de estratificación. › Impregnación.
B81B3/00 B […] › B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS. › B81B DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA, p. ej. DISPOSITIVOS MICROMECANICOS (elementos piezoeléctricos, electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/00). › Dispositivos que tienen elementos flexibles o deformables, p.ej. que tienen membranas o láminas elásticas (B81B 5/00 tiene prioridad).
B81B7/00 B81B […] › Sistemas de microestructura.
B81B7/02 B81B […] › B81B 7/00 Sistemas de microestructura. › que tienen distintos dispositivos eléctricos u ópticos de particular importancia por su función, p.ej. sistemas micro-electromecánicos (SMEM, MEMS) (B81B 7/04 tiene prioridad).
B81C1/00 B81 […] › B81C PROCEDIMIENTOS O APARATOS ESPECIALMENTE ADAPTADOS PARA LA FABRICACION O EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA (fabricación de microcápsulas o de microbolas B01J 13/02; procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de elementos piezoeléctricos o electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/22). › Fabricación o tratamiento de dispositivos o de sistemas en o sobre un substrato (B81C 3/00 tiene prioridad).
G01L19/00 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01L MEDIDA DE FUERZAS, TENSIONES, PARES, TRABAJO, POTENCIA MECANICA, RENDIMIENTO MECANICO O DE LA PRESION DE LOS FLUIDOS (pesado G01G). › Detalles o accesorios de aparatos para la medida de la presión permanente o cuasi-permanente de un medio fluyente en la medida en que estos detalles o accesorios no son especiales de los tipos particulares de manómetros.
G01L19/14 G01L […] › G01L 19/00 Detalles o accesorios de aparatos para la medida de la presión permanente o cuasi-permanente de un medio fluyente en la medida en que estos detalles o accesorios no son especiales de los tipos particulares de manómetros. › Carcasas.
G01L9/00 G01L […] › Medida de la presión permanente, o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente por elementos eléctricos o magnéticos sensibles a la presión; Transmisión o indicación por medios eléctricos o magnéticos del desplazamiento de los elementos mecánicos sensibles a la presión, utilizados para medir la presión permanente o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente (medida de las diferencias entre dos o más valores de la presión G01L 13/00; medida simultánea de dos o más valores de la presión G01L 15/00).
G01L9/04 G01L […] › G01L 9/00 Medida de la presión permanente, o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente por elementos eléctricos o magnéticos sensibles a la presión; Transmisión o indicación por medios eléctricos o magnéticos del desplazamiento de los elementos mecánicos sensibles a la presión, utilizados para medir la presión permanente o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente (medida de las diferencias entre dos o más valores de la presión G01L 13/00; medida simultánea de dos o más valores de la presión G01L 15/00). › de calibres de incitación de resistencia.
G01L9/06 G01L 9/00 […] › de dispositivos piezorresistentes.

PDF original: ES-2743457_T3.pdf

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