UNA FUERZA ELECTRICA Y/O SENSOR DE DEFORMACION, PARTICULARMENTE PARA USAR COMO UN SENSOR DE PRESION.

EL SENSOR COMPRENDE UNA ESTRUCTURA SOPORTE CONSTITUIDA POR UNA LAMINA VIGILADA (1) EN UNA CARA (1A) DE LA CUAL SE FORMA UN HUECO (2).

LA PARED MAS BAJA (2A) DEL HUECO ES DELGADA Y ES ELASTIVAMENTE DEFORMABLE BAJO LA ACCION DE UNA FUERZA O PRESION A SER MEDIDA. AL MENOS UN ELEMENTO SENSITIVO PREREVESTIDO (1E) CONSTITUIDO POR UNA RESISTENCIA DE PELICULA GRUESA ES APLICADO A LA OTRA CARA (1B) DE LA LAMINA EN CORRESPONDENCIA CON LA PARED MAS BAJA (2A) DEL HUECO (2). MEDIOS CONDUCTORES ELECTRICOS (C) CONECTADOS AL ELEMENTO O ELEMENTOS SENSIBLES (R) SON TAMBIEN APLICADOS A ESTA CARA (1B) DE LA LAMINA (1) PARA PERMITIR SU CONEXION PARA PRECEER Y PROCESAR CIRCUITOS (3). ESTOS CIRCUITOS DEBEN CONVENIENTEMENTE SER PRODUCIDOS POR TECNLOGIA DE CIRCUITO HIBRIO DE CAPA DELGADA O GRUESA EN LA MISMA CARA (15) DE LA LAMINA SOPORTE (1) COMO ESE DE HEVA EL ELEMENTO PARA MEDIR LA PRESION ABSOLUTA, LA ABERTURA DE ENTRADA (2B) DEL HUECO (2) DEBER SER CERRADA POR UN SELLO (4) HEMETICO DE GAS PARA DEFINIR UNA CAVIUDAD CERRADA (5) EN EL ESPESOR DE LA LAMINA (1), EN EL QUE UN VACIO ES FORMADO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: MAGNETI MARELLI S.P.A..

Nacionalidad solicitante: Italia.

Dirección: VIA GRIZIOTTI 4, I-20145 MILANO.

Inventor/es: DELL\'ACQUA, ROBERTO.

Fecha de Publicación: 16 de Abril de 1993.

Fecha Concesión Europea: 23 de Septiembre de 1992.

Clasificación Internacional de Patentes:

G01B7/18
G01L1/18 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01L MEDIDA DE FUERZAS, TENSIONES, PARES, TRABAJO, POTENCIA MECANICA, RENDIMIENTO MECANICO O DE LA PRESION DE LOS FLUIDOS (pesado G01G). › G01L 1/00 Medida de fuerzas o tensiones, en general (medida de la fuerza producida por un choque G01L 5/00). › utilizando las propiedades de los materiales piezorresistentes, es decir, de los materiales cuya resistencia óhmica varía siguiendo las modificaciones de la amplitud o de la dirección de la fuerza aplicada al material.
G01L9/06 G01L […] › G01L 9/00 Medida de la presión permanente, o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente por elementos eléctricos o magnéticos sensibles a la presión; Transmisión o indicación por medios eléctricos o magnéticos del desplazamiento de los elementos mecánicos sensibles a la presión, utilizados para medir la presión permanente o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente (medida de las diferencias entre dos o más valores de la presión G01L 13/00; medida simultánea de dos o más valores de la presión G01L 15/00). › de dispositivos piezorresistentes.

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