Aparato de cátodo rotativo para pulverización por magnetrón y método de deposición de material con el mismo.

Un aparato (1) de cátodo rotativo para pulverización por magnetrón que comprende una fuente de alimentación (800) de radiofrecuencia,

un conjunto (100) de suministro de energía, un cátodo (200) cilíndrico y rotativo, un árbol (300) y un motor de accionamiento (400), en el que

dicho conjunto de suministro de energía comprende una fuente de campo magnético (140) situada dentro de dicho cátodo y un electrodo (110) que se extiende dentro de dicho cátodo;

la superficie exterior (206) de dicho cátodo comprende un material diana (205); dicho electrodo está dispuesto para estar aislado eléctricamente de dicho árbol;

dicho electrodo y dicho árbol están formados por materiales no ferrosos;

dicho árbol está dispuesto para ser generalmente coaxial con dicho cátodo y dispuesto para estar mecánicamente conectado a dicho cátodo de manera que dicho árbol y dicho cátodo estén eléctricamente aislados y la rotación de dicho árbol haga que dicho cátodo gire alrededor de dicha fuente de campo magnético y de una porción de dicho electrodo;

dicho motor de accionamiento está adaptado para girar dicho árbol;

dicha fuente de alimentación está adaptada para suministrar energía de radiofrecuencia a frecuencias de 1 GHz o superiores; y

dicho electrodo está dispuesto para ser conectado eléctricamente a dicha fuente de alimentación.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2011/030726.

Solicitante: Mustang Vacuum Systems, Inc.

Inventor/es: CHOQUETTE,ROBERT, GREENWELL,RICHARD, DICKEY,AARON, EGLE,LAWRENCE.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/35 QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.

PDF original: ES-2608352_T3.pdf

 

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