Aparato de cátodo rotativo para pulverización por magnetrón y método de deposición de material con el mismo.
Un aparato (1) de cátodo rotativo para pulverización por magnetrón que comprende una fuente de alimentación (800) de radiofrecuencia,
un conjunto (100) de suministro de energía, un cátodo (200) cilíndrico y rotativo, un árbol (300) y un motor de accionamiento (400), en el que
dicho conjunto de suministro de energía comprende una fuente de campo magnético (140) situada dentro de dicho cátodo y un electrodo (110) que se extiende dentro de dicho cátodo;
la superficie exterior (206) de dicho cátodo comprende un material diana (205); dicho electrodo está dispuesto para estar aislado eléctricamente de dicho árbol;
dicho electrodo y dicho árbol están formados por materiales no ferrosos;
dicho árbol está dispuesto para ser generalmente coaxial con dicho cátodo y dispuesto para estar mecánicamente conectado a dicho cátodo de manera que dicho árbol y dicho cátodo estén eléctricamente aislados y la rotación de dicho árbol haga que dicho cátodo gire alrededor de dicha fuente de campo magnético y de una porción de dicho electrodo;
dicho motor de accionamiento está adaptado para girar dicho árbol;
dicha fuente de alimentación está adaptada para suministrar energía de radiofrecuencia a frecuencias de 1 GHz o superiores; y
dicho electrodo está dispuesto para ser conectado eléctricamente a dicha fuente de alimentación.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2011/030726.
Solicitante: Mustang Vacuum Systems, Inc.
Inventor/es: CHOQUETTE,ROBERT, GREENWELL,RICHARD, DICKEY,AARON, EGLE,LAWRENCE.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/35 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
PDF original: ES-2608352_T3.pdf
Patentes similares o relacionadas:
PROCEDIMIENTO DE OBTENCIÓN DE UN MATERIAL SÓLIDO CON AGREGADOS GASEOSOS MEDIANTE PULVERIZACIÓN CATÓDICA POR MAGNETRÓN EN CONDICIONES ESTÁTICAS O CUASIESTÁTICAS PARA REDUCIR EL CONSUMO DE GAS, del 22 de Mayo de 2020, de CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS: La presente invención se refiere a un procedimiento de obtención de un materia! sólido con agregados gaseosos embebidos en él, donde dichos […]
PROCEDIMIENTO DE OBTENCIÓN DE UN MATERIAL SÓLIDO CON AGREGADOS GASEOSOS MEDIANTE PULVERIZACIÓN CATÓDICA POR MAGNETRÓN EN CONDICIONES ESTÁTICAS O CUASIESTÁTICAS PARA REDUCIR EL CONSUMO DE GAS, del 18 de Mayo de 2020, de CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC): Procedimiento de obtención de un material sólido con agregados gaseosos mediante pulverización catódica por magnetrón en condiciones estáticas o cuasiestáticas […]
Proceso y planta para obtener un acristalamiento de color, del 22 de Abril de 2020, de SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE: Proceso para depositar un revestimiento en un sustrato de vidrio, dicho proceso estando caracterizado porque comprende las siguientes etapas sucesivas: a) pasar […]
Sistema de capa de vacío y tratamiento con plasma, y procedimiento para recubrir un sustrato, del 26 de Febrero de 2020, de VAPOR TECHNOLOGIES, INC: Un sistema de tratamiento con plasma y recubrimiento de vacío que comprende: un conjunto de plasma dispuesto de modo tal que mira a un sustrato […]
Placa transparente con recubrimiento calefactor, del 12 de Febrero de 2020, de SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE: Placa transparente con por lo menos un recubrimiento calentable, conductor de la electricidad, que está unido con por lo menos dos electrodos (11, […]
Dispositivo de revestimiento para el revestimiento de un sustrato, así como un procedimiento para el revestimiento de un sustrato, del 15 de Enero de 2020, de Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon: Dispositivo de evaporación de un material diana que comprende una cámara de proceso para el establecimiento y el mantenimiento […]
Procedimiento de revestimiento de un substrato, instalación de aplicación del procedimiento y dispositivo metálico de alimentación de tal instalación, del 12 de Noviembre de 2019, de Arcelormittal: Procedimiento de revestimiento de al menos una cara de un substrato en deslizamiento, por evaporación en vacío mediante plasma de una capa metálica […]
Herramienta de corte con capa de detección de desgaste, del 5 de Noviembre de 2019, de WALTER AG: Herramienta, compuesta por - un cuerpo de sustrato de metal duro, cermet, cerámica, acero o acero de corte rápido, - un revestimiento […]