Sistema y procedimiento para proteger la microestructura de una matriz de visualización usando separadores en un huelgo dentro del dispositivo de visualización.

Un procedimiento de fabricación de un dispositivo de visualización que comprende:

proporcionar una matriz (720) de moduladores interferométricos sobre un sustrato (710), teniendo losmoduladores interferométricos de la matriz postes (726);

disponer uno o más separadores (730) entre la matriz (720) y una placa (750) posterior: ysellar la placa (750) posterior sobre el sustrato (710) para formar un dispositivo de visualización,en el que

dichos uno o más separadores están situados por encima de los postes (726),

dichos uno o más separadores no están en contacto con la placa posterior, y

dichos uno o más separadores (730) impiden que la placa (750) posterior entre en contacto con la matriz (720).

Sistema y procedimiento para proteger la microestructura de una matriz de visualización usando separadores en un huelgo dentro del dispositivo de visualización

Antecedentes Campo de la invención La invención se refiere a dispositivos electrónicos. Más particularmente, la invención se refiere a un sistema de envasado y a un procedimiento para proteger un dispositivo microelectromecánico de daños físicos.

Descripción de la tecnología relacionada Los sistemas microelectromecánicos (MEMS) incluyen elementos micromecánicos, accionadores y dispositivos electrónicos. Los elementos micromecánicos pueden crearse usando deposición, ataque químico y/o otros procedimientos de micromaquinado que retiran por ataque químico partes de sustratos y/o capas de material depositado o que añaden capas para formar dispositivos eléctricos y electromecánicos. Un tipo de dispositivo MEMS se denomina un modulador interferométrico. Un modulador interferométrico puede comprender una par de placas conductoras, una o ambas de las cuales pueden ser transparentes y/o reflectantes en todo o en parte y capaces de un movimiento relativo durante la aplicación de una señal eléctrica apropiada. Una placa puede comprender una capa estacionaria depositada sobre un sustrato, la otra placa puede comprender una membrana metálica separada de la capa estacionaria por un huelgo de aire. Dichos dispositivos tienen una amplia gama de aplicaciones, y sería beneficioso en la técnica utilizar y/o modificar las características de estos tipos de dispositivos de modo que sus elementos puedan ser explotados en mejorar productos existentes y crear nuevos productos que aún no han sido desarrollados.

El documento US-A-2003/152872 se refiere a un procedimiento de fabricación de una estructura para un dispositivo de sistemas microelectromecánicos. Una capa separadora de óxido se modeló en tiras que se extienden transversalmente sobre una capa estructural formada sobre un sustrato, y una película de sellado se aplica sobre toda la estructura para protegerla del daño debido a carga de choque mecánica.

El documento US-B-6 195 196 se refiere a un dispositivo de exposición de tipo matriz y pantalla de tipo plano que incorpora un modulador de luz. En una realización, un dispositivo de exposición está formado con una máscara negra modelada sobre la superficie de un filtro, situada en regiones limítrofes entre píxeles adyacentes del dispositivo para apantallar la fuga de luz desde el límite de los píxeles para aumentar el efecto de contraste.

El documento US-A-2004/051929 se refiere a una arquitectura de modulador separable que comprende un modulador que tiene un espejo suspendido desde una capa flexible sobre una cavidad. La capa flexible también puede formar soportes y postes de soporte para el espejo. Una capa de vía de transferencia de información conductora modelada puede estar formada en la capa flexible dispuesta sobre los soportes.

Una realización de la invención es un procedimiento para fabricar un dispositivo de visualización tal como se describe en la reivindicación 1. Esta realización incluye proporcionar una matriz de moduladores interferométricos sobre un sustrato y disponer uno o más separadores sobre el sustrato. El procedimiento también proporciona sellar una placa posterior sobre el sustrato para formar un dispositivo de visualización, en el que los uno o más separadores impiden que la placa posterior entre en contacto con la matriz.

Otra realización de la invención es un dispositivo de visualización tal como se describe en la reivindicación 11. En esta realización, el dispositivo de visualización incluye un medio de transmisión para transmitir luz a su través y un medio de modulación para modular la luz transmitida a través del medio de transmisión. El dispositivo de visualización también comprende un medio de cobertura para cubrir el medio de modulación y un medio de sellado dispuesto entre el medio de transmisión y el medio de cobertura para formar un envase. Además, el dispositivo de visualización incluye un medio de separación para impedir que el medio de modulación y el medio de cobertura entren en contacto entre sí dentro del dispositivo de visualización.

Breve descripción de los dibujos Estos y otros aspectos de la invención serán fácilmente evidentes a partir de la siguiente descripción y de los dibujos adjuntos (no a escala) , que pretenden ilustrar y no limitar la invención.

La figura 1 es una vista isométrica que representa una parte de una realización de una pantalla de modulador interferométrico en la que una capa reflectante móvil de un primer modulador interferométrico está en una posición liberada y una capa reflectante móvil de un segundo modulador interferométrico está en una posición accionada. La figura 2 es un diagrama de bloques del sistema que ilustra una realización de un dispositivo electrónico que incorpora una pantalla de modulador interferométrico 3 x 3. La figura 3 es un diagrama de posición del espejo móvil frente a voltaje aplicado para una realización ejemplar

de un modulador interferométrico de la figura 1. La figura 4 es una ilustración de ajustes de voltajes de fila y columna que pueden usarse para accionar una pantalla de modulador interferométrico. La figura 5A ilustra una trama ejemplar de datos de visualización en la pantalla de modulador interferométrico 3 x 3 de la figura 2. La figura 5B ilustra un diagrama de temporización ejemplar para señales de fila y columna que puede usarse para escribir la trama de la figura 5A. La figura 6A es una sección transversal del dispositivo de la figura 1. La figura 6B es una sección transversal de una realización alternativa de un modulador interferométrico. La figura 6C es una sección transversal de una realización alternativa de un modulador interferométrico. La figura 7A y la figura 7B ilustran una vista en despiece ordenado y una sección transversal de una realización de un envase de visualización que comprende un separador. La figura 7C ilustra una realización de un envase de visualización que comprende una tapa ahuecada. La figura 7D ilustra una realización de un envase de visualización que comprende una placa posterior curva. La figura 8A ilustra una sección transversal de una realización de una tapa ahuecada. La figura 8B ilustra una sección transversal de una realización de una placa posterior que comprende nervaduras de refuerzo. La figura 8C ilustra una sección transversal de una realización de una tapa ahuecada que comprende nervaduras de refuerzo. La figura 8D y la figura 8E ilustran en sección transversal placas posteriores que comprenden cavidades en las que se dispone un desecante. La figura 9 ilustra una sección transversal de un dispositivo de matriz doble, que comprende dos matrices de moduladores interferométricos. La figura 10 ilustra una sección transversal de una realización de un envase de visualización que comprende un desecante. La figura 11A ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo en el que los separadores se disponen en un patrón sustancialmente regular. La figura 11B ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo en el que los separadores se disponen en un patrón aleatorio. La figura 11C ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo en el que los separadores se disponen alrededor del centro de la matriz. La figura 11D ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo en el que los separadores son más densos alrededor del centro de la matriz y menos densos alrededor de la periferia. La figura 11E ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo que comprende tres zonas concéntricas de separadores. La figura 12A - la figura 12T ilustran realizaciones de separadores. La figura 13A ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo que comprende separadores que abarcan al menos dos postes en la matriz. La figura 13B ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo que comprende separadores en forma de disco que abarcan al menos dos postes en la matriz. La figura 14 ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo que comprende separadores al menos tan grandes como un elemento modulador interferométrico en una matriz. La figura 15A ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo que comprende separadores sustancialmente centrados sobre los postes. La figura 15B ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo en el que una parte de cada separador está situada sobre un poste. La figura 15C ilustra una vista superior de una realización de un dispositivo en el que ninguna parte de ningún separador está situada sobre un poste. La figura 16 ilustra una vista superior de una realización... [Seguir leyendo]

1. Un procedimiento de fabricación de un dispositivo de visualización que comprende:

proporcionar una matriz (720) de moduladores interferométricos sobre un sustrato (710) , teniendo los moduladores interferométricos de la matriz postes (726) ; disponer uno o más separadores (730) entre la matriz (720) y una placa (750) posterior: y sellar la placa (750) posterior sobre el sustrato (710) para formar un dispositivo de visualización, en el que dichos uno o más separadores están situados por encima de los postes (726) , dichos uno o más separadores no están en contacto con la placa posterior, y dichos uno o más separadores (730) impiden que la placa (750) posterior entre en contacto con la matriz (720) .

2. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que dicho sustrato (710) es al menos parcialmente transparente y/o translúcido, y los moduladores (720) interferométricos están configurados para reflejar luz a través de la parte transparente y/o translúcida del sustrato (710) .

3. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que la placa (750) posterior comprende una tapa (850) ahuecada.

4. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que la placa (750) posterior comprende una placa posterior de vidrio.

5. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que la placa (750) posterior comprende un desecante (855) .

6. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que el sellado de una placa (750) posterior sobre el sustrato (710) forma una junta hermética.

7. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que el al menos uno de los separadores (730) comprende un desecante.

8. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que dichos uno o más separadores (730) comprenden una pluralidad de separadores separados regularmente.

9. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que disponer comprende formar los separadores en un procedimiento integrado con un procedimiento para formar los moduladores interferométricos.

10. El procedimiento de la reivindicación 1, en el que dichos uno o más separadores (730) incluyen al menos un separador diseñado para proporcionar una respuesta gradual a una fuerza aplicada.

11. Un dispositivo (700) de visualización que comprende:

un medio (710) de transmisión para transmitir luz a su través; un medio (720) de modulación para modular luz a través de dicho medio (710) de transmisión, teniendo el medio (720) de modulación uno o más postes (726) ; un medio (750) de cobertura para cubrir dicho medio (720) de modulación; un medio (740) de sellado dispuestos entre el medio (710) de transmisión y el medio (750) de cobertura para formar un envase; y un medio (730) de separación para impedir que el medio (720) de modulación y el medio (750) de cobertura contacten entre sí dentro del dispositivo (700) de visualización, en el que el medio de separación no está en contacto con el medio de cobertura, y en el que el medio (730) de separación está situado por encima de los uno o más postes (726) .

12. El dispositivo de visualización de la reivindicación 11, en el que dicho medio de transmisión comprende un sustrato (710) transparente.

13. El dispositivo de visualización de la reivindicación 11 o 12, en el que dicho medio de modulación comprende una matriz de moduladores (720) interferométricos.

14. El dispositivo de visualización de una cualquiera de las reivindicaciones 11 a 13, en el que dicho medio de cobertura comprende una placa (750) posterior.

15. El dispositivo de visualización de una cualquiera de las reivindicaciones 11 a 14, en el que dicho medio (740) de sellado comprende una junta adhesiva.

16. El dispositivo de visualización de una cualquiera de las reivindicaciones 11 a 15, en el que dicho medio de separación comprende un separador (730) fabricado sobre dicho medio de transmisión.

17. El dispositivo de visualización de la reivindicación 16, en el que los separadores están integrados con la matriz de moduladores interferométricos.

18. El dispositivo de visualización de la reivindicación 11, en el que el medio (750) de cobertura comprende una tapa

(850) ahuecada.

19. El dispositivo de visualización de la reivindicación 11, en el que el medio (750) de cobertura comprende un desecante (855) .

20. El dispositivo de visualización de la reivindicación 11, en el que el medio (740) de sellado comprende una pluralidad de separadores separados de forma uniforme.

21. El dispositivo de visualización de la reivindicación 11, que comprende además:

un procesador (21) que está en comunicación eléctrica con dicho medio (720) de modulación, estando dicho procesador (21) configurado para procesar datos de imagen; y 10 un dispositivo de memoria en comunicación eléctrica con dicho procesador (21) .

22. El dispositivo de visualización de la reivindicación 21, que comprende además un circuito (24, 26) de excitación configurado para enviar al menos una señal a dicho medio (720) de modulación.

23. El dispositivo de visualización de la reivindicación 22, que comprende además un controlador configurado para enviar al menos una parte de dichos datos de imagen a dicho circuito (24, 26) de excitación.

24. El dispositivo de visualización de la reivindicación 21, que comprende además un módulo fuente de imágenes configurado para enviar dichos datos de imagen a dicho procesador (21) .

25. El dispositivo de visualización de la reivindicación 24, en el que dicho módulo fuente de imágenes comprende al menos uno de entre un receptor, transceptor y transmisor.

26. El dispositivo de visualización de la reivindicación 21, que comprende además un dispositivo de entrada 20 configurado para recibir datos de entrada y para comunicar dichos datos de entrada a dicho procesador (21) .

27. El dispositivo de visualización de la reivindicación 11, en el que el medio (730) de separación está diseñado para proporcionar una respuesta gradual a una fuerza aplicada.