DISPOSITIVO DE SISTEMA MICROELECTROMECANICO CON ACTUADOR PIEZOELECTRICO DE PELICULA DELGADA.
Un dispositivo (10) de sistema microelectromecánico (MEMS) de radiofrecuencia (RF),
que comprende: un sustrato (24) de circuito RF y una vía conductora RF (32, 34) dispuesta en el sustrato (24) de circuito RF; un actuador piezoeléctrico (16) de película delgada que tiene un extremo próximo que está fijado con respecto al sustrato (24) de circuito RF y un extremo en voladizo que está separado del sustrato (24) del circuito RF; un electrodo (18) de vía conductora dispuesto en el extremo en voladizo del actuador piezoeléctrico (16) de película delgada; en el que el extremo en voladizo del actuador piezoeléctrico (16) de película delgada puede moverse entre una primera posición en la que el electrodo (18) de vía conductora está separado del electrodo (32, 34) de vía RF una primera distancia y en una segunda posición en la que el electrodo (18) de vía conductora está separado del electrodo (32, 34) de vía RF una segunda distancia, y en el que la segunda distancia es cero o menor que la primera distancia; y en el que el actuador piezoeléctrico (16) de película delgada incluye un primer electrodo (49), un segundo electrodo (42), una capa elástica (50) dispuesta sobre el segundo electrodo (42), una capa aislante dispuesta sobre la capa elástica a lo largo de un plano sustancialmente paralelo a la superficie del sustrato del circuito RF, y una capa piezoeléctrica (44) dispuesta entre los electrodos primero y segundo (40, 42), la capa aislante reduce la formación de arco eléctrico entre los electrodos primero y segundo.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: RAYTHEON COMPANY.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 870 WINTER STREET,WALTHAM, MA 02451-1449.
Inventor/es: PARK,JOON,C/O RAYTHEON COMPANY, NAKAHIRA,RON,K.,C/O RAYTHEON COMPANY, ALLISON,ROBERT,C.,C/O RAYTHEON COMPANY.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 4 de Abril de 2007.
Clasificación PCT:
- B81B3/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS. › B81B DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA, p. ej. DISPOSITIVOS MICROMECANICOS (elementos piezoeléctricos, electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/00). › Dispositivos que tienen elementos flexibles o deformables, p.ej. que tienen membranas o láminas elásticas (B81B 5/00 tiene prioridad).
- H01G5/16 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01G CONDENSADORES; CONDENSADORES, RECTIFICADORES, DETECTORES, CONMUTADORES O DISPOSITIVOS FOTOSENSIBLES O SENSIBLES A LA TEMPERATURA, DEL TIPO ELECTROLITICO (empleo de materiales especificados por sus propiedades dieléctricas H01B 3/00; condensadores con una barrera de potencial o una barrera de superficie H01L 29/00). › H01G 5/00 Condensadores en los cuales la capacidad se varía por medios mecánicos, p. ej. por giro de un eje; Procesos para su fabricación. › con variación de la distancia entre armaduras.
- H01H57/00 H01 […] › H01H INTERRUPTORES ELECTRICOS; RELES; SELECTORES; DISPOSITIVOS DE PROTECCION DE EMERGENCIA (cables de contacto H01B 7/10; interruptores automáticos de tipo electrolítico H01G 9/18; circuitos de protección, de seguridad H02H; conmutación por medios electrónicos sin cierre de contactos H03K 17/00). › Relés electroestrictivos; Relés piezoeléctricos.
- H01L41/09 H01 […] › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 41/00 Dispositivos piezoeléctricos en general; Dispositivos electroestrictivos en general; Dispositivos magnetoestrictivos en general; Procedimientos o aparatos especialmente adaptados a la fabricación o tratamiento de estos dispositivos, o de sus partes constitutivas; Detalles (dispositivos consistentes en una pluralidad de componentes de estado sólido formados en o sobre un sustrato común H01L 27/00). › de entrada eléctrica y salida mecánica.
- H01L41/24
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