PERFILOMETRO OPTICO DE TECNOLOGIA DUAL (CONFOCAL E INTERFEROMETRICA) PARA LA INSPECCION Y MEDICION TRIDIMENSIONAL DE SUPERFICIES.
Comprende una fuente de luz (LED), unos divisores de haz (por lo menos uno es polarizante),
y medios de generación de patrones de iluminación (microvisualizador LCOS) y objetivos microscópicos intercambiables que son objetivos convencionales con los que se pueden obtener imágenes confocales y objetivos interferométricos con los que se pueden obtener imágenes interferométricas. El microvisua1izador puede generar una secuencia de patrones de iluminación para obtener imágenes confocales o una apertura total de todos los píxeles de iluminación para obtener imágenes interferométricas.
Presenta un diseño compacto que permite la medida rápida y sin contacto de la forma y la textura de todo tipo de superficies a escala micro y nanométrica, incluso en muestras estructuradas o estratificadas que contienen materiales diferentes.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: UNIVERSITAT POLITECNICA DE CATALUNYA.
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: BARCELONA.
Inventor/es: LAGUARTA BERTRAN,FERRAN, ARTIGAS PURSALS,ROGER, CADEVALL ARTIGUES,CRISTINA.
Fecha de Solicitud: 23 de Abril de 2004.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 27 de Julio de 2006.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B11/30 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida de la rugosidad o la irregularidad de superficies.
- G01B9/02 G01B […] › G01B 9/00 Instrumentos según se especifica en los subgrupos y caracterizados por la utilización de medios de medida ópticos (disposiciones para la medida de parámetros particulares G01B 11/00). › Interferómetros.
- G01B9/04 G01B 9/00 […] › Microscopios de medida.
Clasificación PCT:
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