INSTALACION PARA DEPOSICION DE PELICULAS DE CARBONO TIPO DAMANTE SOBRE SUBSTRATOS DE ACERO O DE METAL ENDURECIDO Y EL CORRESPONDIENTE METODO IN SITU USANDO RECUBRIMIENTOS DUROS DE METAL/CARBURO DE ESE METAL COMO CAPAS INTERMEDIAS PARA EL MEJORAMIENTO DE LA ADHERENCIA ENTRE PELICU.
Instalación para deposición de películas de carbono tipo diamante sobre substratos de acero o de metal endurecido "in situ" usando recubrimientos duros de metal/carburo de ese metal como capas intermedias para el mejoramiento de la adherencia entre películas y substrato.
La invención está relacionada con un método de deposición "in situ" de multicapas de recubrimientos duros de W/WC/DLC (tungsteno/carburo de tungsteno/carbono tipo diamante) por el método PVD (Physical Vapor Deposition) de pulverización catódica reactiva asistida por campo magnético (magnetrón sputtering), a partir de un sólo blanco binario de forma circular mitad tungsteno (99.99%) y mitad de carbono (99.99%). La deposición de las multicapas de W/WC/DLC a partir de este blanco binario único se obtiene con variación gradual del porcentaje de CH4 (Metano) en la mezcla Ar/CH4 (Argón/Metano) que se introduce en la cámara donde se genera el plasma de la descarga luminiscente que da lugar a la deposición de las multicapas. Este método produce un mejoramiento de la adherencia del DLC a los substratos de aceros al usar las películas de W/WC como capas intermedias.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: ZAMBRANO ROMERO,GUSTAVO ADOLFO
PRIETO PULIDO,PEDRO.
Nacionalidad solicitante: Colombia.
Dirección: UNIVERSIDAD DEL VALLE, FACULTAD DE CIENCIAS, DEPARTAMENTO DE FISICA,SANTIAGO DE CALI.
Inventor/es: ZAMBRANO ROMERO,GUSTAVO ADOLFO, PRIETO PULIDO,PEDRO.
Fecha de Solicitud: 6 de Septiembre de 2001.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 9 de Febrero de 2005.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/35 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
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