EXCITACION MECANICA DE RESONADOR MICROMECANIZADO.
Excitación mecánica de resonador micromecanizado.
Consiste en la excitación mecánica de elementos resonadores micromecanizados utilizando cerámicas piezoeléctricas,
el resonador micromecanizado se polariza con tensión constante. De esta manera se elimina el efecto indeseado del condensador que forman las dos placas del resonador en la corriente de salida del dispositivo. Las características de resonancia continúan fijadas por el elemento vibrante micromecanizado y la potencia necesaria para el funcionamiento se mantiene baja, comparable al caso de excitación electrostática y medida capacitiva.
En estos resonadores se detectan picos de resonancia aún cuando el factor de calidad del resonador sea bajo al no quedar oculto bajo la corriente que atraviesa el condensador paralelo, como puede ocurrir en los resonadores excitados electrostáticamente.
Esto permite simplificar el proceso de fabricación, utilizar maquinaria menos sofisticada, fundamentalmente en los pasos de litografía y ataque químicos. Pudiéndose fabricar dispositivos de menor coste.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: UNIVERSITAT POLITECNICA DE CATALUNYA.
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: BARCELONA.
Inventor/es: RODRIGUEZ MARTINEZ,ANGEL, CASTAER MUÑOZ,LUIS.
Fecha de Solicitud: 14 de Febrero de 2001.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 16 de Julio de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- B81C3/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS. › B81C PROCEDIMIENTOS O APARATOS ESPECIALMENTE ADAPTADOS PARA LA FABRICACION O EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA (fabricación de microcápsulas o de microbolas B01J 13/02; procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de elementos piezoeléctricos o electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/22). › Unión de dispositivos o de sistemas a partir de componentes que han recibido un tratamiento individual.
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