SISTEMA DE REPARTO QUIMICO DE ALTA PUREZA.

SE DESCRIBEN UN METODO Y UN APARATO PARA REPARTIR PRODUCTOS QUIMICOS HIGROSCOPICOS CORROSIVOS,

TALES COMO EL CLORURO DE HIDROGENO, DE UNA FUENTE, TAL COMO UN TUBO DE REMOLQUE, A UN PUNTO DE USO, TAL COMO UNA HERRAMIENTA DE FABRICACION SEMICONDUCTORA, MINIMIZANDO LA INFILTRACION DE HUMEDAD Y LA ENTRADA DE PARTICULAS, A LA VEZ QUE SE REDUCEN LOS CONTENIDOS DE HUMEDAD POR DEBAJO DE 100 PARTES POR BILLON Y SE ADQUIEREN LAS PERDIDAS DE PRESION APROPIADAS SIN NECESIDAD DE UN FLUJO DE DOS FASES. EL APARATO COMPRENDE: (A) UN CONDUCTO DE REPARTO (12) PARA LA CONEXION A DICHA FUENTE DE PROVISION (10) DE DICHO PRODUCTO QUIMICO Y A DICHO PUNTO DE USO (34); (B) UN DESHIDRATADOR CALENTADO (18) CONECTADO A DICHO CONDUCTO DE REPARTO PARA EXTRAER HUMEDAD DE DICHO PRODUCTO QUIMICO MIENTRAS PASA A TRAVES DE DICHO CONDUCTO; (C) AL MENOS UN REGULADOR DE PRESION (22) CONECTADO A DICHO CONDUCTO DE REPARTO PARA REDUCIR LA PRESION DE DICHA FUENTE DE PROVISION DE ELEVADA PRESION A DICHO PUNTO DE USO DE PRESION MAS BAJA; (D) POR LO MENOS UN DISPOSITIVO (20) PARA CALENTAR DICHO PRODUCTO QUIMICO MIENTRAS PASA A TRAVES DE AL MENOS UN REGULADOR DE PRESION; Y (E) UN DISPOSITIVO DE VACIADO (16) PARA EVACUAR DICHO PRODUCTO DE REPARTO EN LA OPERACION DE CONECTAR DICHO CONDUCTO DE REPARTO A DICHA FUENTE DE PROVISION Y/O DICHO PUNTO DE USO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 7201 HAMILTON BOULEVARD,ALLENTOWN, PA 18195-1501.

Inventor/es: MOSTOWY, LEWIS JOSEPH, CHOWDHURY, NASER MAHMUD.

Fecha de Publicación: 16 de Enero de 1997.

Fecha Concesión Europea: 4 de Septiembre de 1996.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C16/44 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad).

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