DETECTOR DE CATODOLUMINISCENCIA.

SE DESCRIBE UN DETECTOR DE CATODOLUMINISCENCIA (11) PARA LA FASE DE MUESTRA EN CAMARA AL VACIO DE UN MICROSCOPIO ELECTRON QUE COMPRENDE UN ELEMENTO ADAPTADOR DE MIEMBRO BASE (27) CON UN TRAMO FILETEADO (30) PARA CONECTAR CON LA FASE DE MUESTRA DEL MICROSCOPIO ( NO DESCRITA AQUI),

Y UNA MUESTRA MANTENEDORA (149 SOBRE UN SOPORTE (15) MONTADO SOBRE UNA PARTE DEL REFUERZO DENTADO (27A) DEL ELEMENTO (27), LA CUAL SE ASEGURA CON UN SOPORTE PLANAR (21) QUE TRANSPORTA UN MIEMBRO FOTOSENSITIVO ANULAR (19) CON UNA CAPA AISLANTE (22) Y UNAS CONEXIONES (24). UN REFLECTOR PARABOLICO (16) SE LOCALIZA SOBRE EL MIEMBRO (19) E INCLUYE UN APERTURA (18) PARA EL PASO DE UN RAYO ELECTRON (13). LA SUPERFICIE REFLECTIVA CONCAVA PULIDA (17) DEL REFLECTOR (16) REFLEJA LA RADIACION EMITIDA DESDE LA MUESTRA AL MIEMBRO (19) Y ABSORBE ELECTRONES RETRODISPERSOS DESDE LA MUESTRA.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE.

Nacionalidad solicitante: Singapur.

Dirección: 10 KENT RIDGE CRESCENT,SINGAPORE 0511.

Inventor/es: PHANG, JACOB CHEE HONG, CHAN, DANIEL SIU HUNG, PEY, KIN LEONG.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 5 de Marzo de 1997.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01J37/244 ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Detectores; Componentes o circuitos asociados.

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