SISTEMA DE REOSTRICCION DE PLASMA Y METODO PARA USAR EL MISMO.

SISTEMA DE REOSTRICCION DE PLASMA Y METODO PARA USAR EL MISMO.

UN SISTEMA DE REOSTRICCION DE PLASMA INCLUYE UN DISPOSITIVO DE PLASMA CONSISTENTE EN UNA NUBE PREACONDICIONADORA DE VAPOR TENUE QUE RODEA A UNA CORRIENTE DE FLUIDO FINA FLUYENTE CENTRAL, ESTRECHA, DE FLUIDO BAJO PRESION. CONECTADO ELECTRICAMENTE AL DISPOSITIVO DE REOSTRICCION DEL CHORRO DE FLUIDO SE ENCUENTRA UN DISPOSITIVO DE DESCARGA PARA QUE APORTE UN FLUJO ELECTRICO A TRAVES DE UNA PARTE DE LA CORRIENTE DE FLUIDO, PARA ESTABLECER UNA LUZ INCOHERENTE EMISORA DE PLASMA PARA FABRICAR SEMICONDUCTORES INCLUYE LA EXPOSICION DE UNA PASTILLA SEMICONDUCTORA A LA LUZ INCOHERENTE EMITIDA POR EL PLASMA, PARA FINES DE RECOCIDO O DE MORDENTADO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: GERENTES DE LA UNIVERSIDAD DE CALIFORNIA.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 1320 HARBOR BAY PARKWAY, SUITE 150 ALAMEDA CALIFORNIA 94501.

Inventor/es: ASMUS, JOHN F., LOVBERG, RALPH H.

Fecha de Solicitud: 5 de Diciembre de 1988.

Fecha de Publicación: .

Fecha de Concesión: 27 de Septiembre de 1989.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01L21/268 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctrica en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › utilizando radiaciones electromagnéticas, p. ej. rayos láser.

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