ELIMINACION DE CONTAMINANTES SUPERFICIALES POR IRRADIACION DE UNA FUENTE DE ALTA ENERGIA.
METODO Y APARATO PARA ELIMINAR LOS CONTAMINANTES SUPERFICIALES DE LA SUPERFICIE DE UN SUBSTRATO MEDIANTE LA IRRADIACION DE UNA FUENTE DE ALTA ENERGIA.
EL INVENTO PERMITE LA ELIMINACION DE LOS CONTAMINANTES SUPERFICIALES SIN ALTERAR LA ESTRUCTURA MOLECULAR SUYACENTE DEL SUBSTRATO. LA FUENTE DE IRRADIACION DE ALTA ENERGIA CONSTA DE UN LASER PULSATIL (11).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: CAULDRON LIMITED PARTNERSHIP.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 4393 EMBASY PARK DRIVE, N.W. WASHINGTON, D.C. 20016.
Inventor/es: ENGELSBERG, AUDREY C.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 5 de Mayo de 1993.
Clasificación Internacional de Patentes:
- B08B7/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B08 LIMPIEZA. › B08B LIMPIEZA EN GENERAL; PREVENCION DE LA SUCIEDAD EN GENERAL (cepillos A46; dispositivos para limpieza del hogar o análogos A47L; separación de partículas sólidas de líquidos o gases B01D; separación de sólidos B03, B07; pulverización o aplicación de líquidos u otros materiales fluidos sobre superficies en general B05; dispositivos de limpieza para transportadores B65G 45/10; operaciones combinadas de lavado, llenado y cierre de botellas B67C 7/00; inhibición de la corrosión o de la incrustación en general C23; limpieza de calles, de vías férreas, de playas o de terrenos E01H; partes constitutivas, detalles o accesorios de piscinas para nadar o para chapotear especialmente adaptados a la limpieza E04H 4/16; protección contra las cargas electrostáticas o supresión de estas cargas H05F). › Limpieza por métodos no previstos en una sola subclase o en un solo grupo de la presente subclase.
- H01L21/268 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › utilizando radiaciones electromagnéticas, p. ej. rayos láser.
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