Método y sistema de imagen dual para la generación de una imagen multidimensional de una muestra.
Un método para generar una imagen multidimensional de una muestra,
que consiste en:
- capturar una pluralidad de primeras imágenes bidimensionales de sustrato de una región superficial de la muestra con una primera modalidad de captura de imagen, donde la primera imagen bidimensional de sustrato es una imagen bidimensional de sustrato de electrones de superficie y se capturan al menos las ubicaciones de un material en la región superficial;
- capturar una pluralidad de segundas imágenes bidimensionales de sustrato de la región superficial con una segunda modalidad de captura de imagen, que difiere de la primera modalidad de captura de imagen, donde la segunda modalidad de captura de imagen brinda mayor precisión con respecto a las ubicaciones de al menos un material en la región superficial que la primera modalidad de captura de la imagen;
- alinear espacialmente la pluralidad de primeras imágenes bidimensionales de substrato con base en las segundas imágenes bidimensionales de sustrato;
- generar una primera imagen bidimensional de sustrato corregida basada al menos en parte en las ubicaciones de al menos un material en la segunda imagen bidimensional de sustrato, donde dicho paso de generación implica determinar una porosidad del sustrato con base en la imagen bidimensional de sustrato de electrones de superficie corregida para espacio de poro mal identificado por comparación con la segunda imagen bidimensional de sustrato.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2012/059689.
Solicitante: Ingrain, Inc.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 3733 Westheimer Road 2nd Floor Houston, TX 77027 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.
Inventor/es: CARPIO,GUSTAVO, CAVANAUGH,TIMOTHY, NUR,BOAZ, SUHRER,MICHAEL.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- G06T5/50 FISICA. › G06 CALCULO; CONTEO. › G06T TRATAMIENTO O GENERACIÓN DE DATOS DE IMAGEN, EN GENERAL. › G06T 5/00 Perfeccionamiento o restauración de imagen. › utilizando varias imágenes, p. ej. promedio, resta.
- G06T7/38 G06T […] › G06T 7/00 Análisis de imagen. › Registro de secuencias de imagen.
- H01J37/22 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Dispositivos ópticos o fotográficos asociados al tubo.
- H01J37/28 H01J 37/00 […] › con haces de barrido.
PDF original: ES-2655667_T3.pdf
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