Un método y un aparato para la medición cuantitativa de la precisión de la superficie de un área.

Un método para la medición cuantitativa de los parámetros de precisión de la superficie de un área,

comprendiendo:

dirigir una onda de luz plana monocromática hacia un área de la superficie predefinida;

grabar una imagen de la luz reflejada con una cámara y un sistema de lente enfocados sobre dicha área de la superficie;

deducir los parámetros de precisión de la superficie a partir de la imagen grabada;

caracterizado por que dichos parámetros de precisión de la superficie se determinan de la siguiente manera: se obtiene un espectro espacial bidimensional (Sij(u, v)) de la geometría del área de la superficie mediante una transformada de Fourier de la imagen grabada;

se ajustan los componentes predeterminados de Fourier (a1p, a2p, a3p, a4p) en un eje mayor cortado a lo largo del eje de mayor elongación de una distribución elíptica de ruido gaussiano (S3) del espectro espacial bidimensional (Sij(u, v));

se ajustan los componentes de Fourier predeterminados (a1m, a2m, a3m) en un eje menor cortado a través del eje de menor elongación de la distribución elíptica de ruido gaussiano (S3) en el espectro espacial bidimensional (Sij(u, v));

se determinan los parámetros de precisión de la superficie de dicha área de la superficie a partir de dichos componentes de Fourier.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/SE2014/050159.

Solicitante: QSO Interferometer Systems AB.

Nacionalidad solicitante: Suecia.

Dirección: Montörgatan 7 302 62 Halmstad SUECIA.

Inventor/es: BÅÅTH,LARS.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01B11/30 FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS.G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida de la rugosidad o la irregularidad de superficies.
  • G01N21/956 G01 […] › G01N INVESTIGACION O ANALISIS DE MATERIALES POR DETERMINACION DE SUS PROPIEDADES QUIMICAS O FISICAS (procedimientos de medida, de investigación o de análisis diferentes de los ensayos inmunológicos, en los que intervienen enzimas o microorganismos C12M, C12Q). › G01N 21/00 Investigación o análisis de los materiales por la utilización de medios ópticos, es decir, utilizando rayos infrarrojos, visibles o ultravioletas (G01N 3/00 - G01N 19/00 tienen prioridad). › Inspección de motivos sobre la superfice de objetos.

PDF original: ES-2664738_T3.pdf

 

Un método y un aparato para la medición cuantitativa de la precisión de la superficie de un área.

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