Procedimiento híbrido PVD para la precipitación de capas de cristal mixto.
Procedimiento para la precipitación de capas de cristal mixto monofásicas a partir de óxido de aluminio-cromo sobre un sustrato por medio de procedimientos PVD,
caracterizado por que la precipitación de la capa de cristal mixto se lleva a cabo bajo aplicación simultánea i) del procedimiento de atomización catódica pulverización de magnetrón dual o pulverización de magnetrón por impulsos de potencia elevada (HIPIMS), y ii) evaporación en arco voltaico (Arc-PVD), utilizándose para la aplicación del procedimiento de atomización catódica pulverización de magnetrón dual o pulverización de magnetrón por impulsos de potencia elevada (HIPIMS) al menos un objetivo que contiene al menos aluminio, y en caso dado adicionalmente cromo, y utilizándose para la aplicación de la evaporación en arco voltaico (Arc-PVD) al menos un objetivo que contiene al menos cromo.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2011/057064.
Solicitante: WALTER AG.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: DERENDINGER STRASSE 53 72072 TÜBINGEN ALEMANIA.
Inventor/es: SCHIER,VEIT, ENGELHART,WOLFGANG.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/08 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Oxidos (C23C 14/10 tiene prioridad).
- C23C14/22 C23C 14/00 […] › caracterizado por el proceso de revestimiento.
- C23C14/32 C23C 14/00 […] › por explosión; por evaporación seguida de una ionización de vapores (C23C 14/34 - C23C 14/48 tienen prioridad).
- C23C14/35 C23C 14/00 […] › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
- C23C28/04 C23C […] › C23C 28/00 Revestimiento para obtener al menos dos capas superpuestas, bien por procesos no previstos en uno solo de los grupos principales C23C 2/00 - C23C 26/00, bien por combinaciones de procesos previstos en las subclases C23C y C25D. › Revestimientos solamente de materiales inorgánicos no metálicos.
- C23C30/00 C23C […] › Revestimiento con materiales metálicos, caracterizado solamente por la composición del material metálico, es decir, no caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 26/00, C23C 28/00 tienen prioridad).
PDF original: ES-2719104_T3.pdf
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