Estructura micromecánica con membrana deformable y con protección contra fuertes deformaciones.

Estructura micromecánica destinada a medir o a detectar una magnitud mecánica una magnitud dinámica,

que comprende una membrana (20) deformable y un sustrato de soporte (10), comprendiendo la membrana (20) una primera parte (20a) y una segunda parte (20b) fina rodeada por la primera parte (20a), presentando la segunda parte (20b) un grosor inferior al grosor de la primera parte (20a), estando la primera parte (20a) de la membrana en contacto con el sustrato de soporte (10), estando la segunda parte (20b) de la membrana (20) suspendida por encima del sustrato de soporte (10) definiendo así un espacio libre (30), comprendiendo además dicha estructura micromecánica un tope inferior (21) adaptado para limitar las deformaciones de la membrana (20), estando dicho tope inferior (21) dispuesto por encima del sustrato de soporte (10) y extendiéndose en el espacio libre (30) a partir de dicho sustrato de soporte (10) hacia la segunda parte (20b) de la membrana (20), comprendiendo el sustrato de soporte (10) y el tope inferior (21) un vaciado (40, 40') central pasante,

caracterizada por que el tope inferior (21) comprende unos islotes (101-108) que se extienden en el espacio libre (30) hacia la segunda parte (20b) de la membrana (20) a partir de una superficie plana del tope inferior (21), formando los islotes (101-108) una estructura en relieve de manera que, en caso de contacto entre los islotes (101-108) y la segunda parte fina (20b) de la membrana (20), la superficie de contacto entre los islotes (101-108) y la segunda parte fina (20b) de la membrana (20) sea pequeña con respecto a las dimensiones de la parte fina (20b) de la membrana (20), y por que el vaciado (40') central pasante del tope inferior (21) está en forma de cono.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2012/071000.

Solicitante: AUXITROL SA.

Nacionalidad solicitante: Francia.

Dirección: 5, allée Charles Pathé 18000 Bourges FRANCIA.

Inventor/es: BRIDA,SEBASTIANO.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • B81B3/00 SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES.B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS.B81B DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA, p. ej. DISPOSITIVOS MICROMECANICOS (elementos piezoeléctricos, electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/00). › Dispositivos que tienen elementos flexibles o deformables, p.ej. que tienen membranas o láminas elásticas (B81B 5/00 tiene prioridad).
  • G01L19/06 SECCION G — FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01L MEDIDA DE FUERZAS, TENSIONES, PARES, TRABAJO, POTENCIA MECANICA, RENDIMIENTO MECANICO O DE LA PRESION DE LOS FLUIDOS (pesado G01G). › G01L 19/00 Detalles o accesorios de aparatos para la medida de la presión permanente o cuasi-permanente de un medio fluyente en la medida en que estos detalles o accesorios no son especiales de los tipos particulares de manómetros. › Medios para impedir la sobrecarga o la influencia dañina del medio a medir sobre el dispositivo de medida o viceversa.
  • G01L9/00 G01L […] › Medida de la presión permanente, o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente por elementos eléctricos o magnéticos sensibles a la presión; Transmisión o indicación por medios eléctricos o magnéticos del desplazamiento de los elementos mecánicos sensibles a la presión, utilizados para medir la presión permanente o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente (medida de las diferencias entre dos o más valores de la presión G01L 13/00; medida simultánea de dos o más valores de la presión G01L 15/00).

PDF original: ES-2725557_T3.pdf

 

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