Sensor de presión con amortiguador de tensión incorporado.
Un sensor de presión semiconductor (1) para medir una presión,
que comprende:
- un sustrato semiconductor (2) que tiene una abertura pasante (3) que se extiende desde una superficie superior (4) a una superficie inferior (5) del sustrato (2), la abertura pasante (3) forma un espacio hueco entre una parte interior (12) y una parte exterior (11) de dicho sustrato;
- una estructura sensible a la presión dispuesta en dicha parte interior (12);
- una serie de elementos flexibles (7, 13) que se extienden desde dicha parte interior (12) a dicha parte exterior (11) para suspender la parte interior (12) dentro de dicha abertura pasante (3);
- la abertura pasante está al menos parcialmente llena con un material anelástico.
Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E16173621.
Solicitante: Melexis Technologies NV.
Nacionalidad solicitante: Bélgica.
Dirección: Transportstraat 1 3980 Tessenderlo BELGICA.
Inventor/es: VAN DER WIEL, APPOLONIUS, JACOBUS.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01L9/00 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01L MEDIDA DE FUERZAS, TENSIONES, PARES, TRABAJO, POTENCIA MECANICA, RENDIMIENTO MECANICO O DE LA PRESION DE LOS FLUIDOS (pesado G01G). › Medida de la presión permanente, o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente por elementos eléctricos o magnéticos sensibles a la presión; Transmisión o indicación por medios eléctricos o magnéticos del desplazamiento de los elementos mecánicos sensibles a la presión, utilizados para medir la presión permanente o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente (medida de las diferencias entre dos o más valores de la presión G01L 13/00; medida simultánea de dos o más valores de la presión G01L 15/00).
PDF original: ES-2677232_T3.pdf
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