Micro-reflectrón para espectómetro de masas de tiempo de vuelo.
Un micro-reflectrón para espectrómetro de masas de tiempo de vuelo que comprende un sustrato (2100;
3100, 5300, 5400; 7300, 7400, 7500; 7000) e, integrados al volumen del sustrato, medios (2100; 5400; 7500; 7000) de aplicación de un gradiente de potencial en un volumen adaptado para constituir una zona de vuelo de los iones (2300; 3300; 7700), caracterizado por que el sustrato está formado del ensamblaje de dos obleas en una al menos de las cuales un canal está formado por grabado de manera que se conforme la zona de vuelo en un tubo, dichos medios de aplicación comprenden al menos dos electrodos de polarización (5210, 7400) extendiéndose a lo largo del tubo y el tubo tiene una pared de al menos un material resistivo adaptado para ser polarizado entre estos electrodos de manera que genere un gradiente continuo de potencial asegurando a su vez la función del reflectrón, siendo obtenidos esta zona de vuelo, estos electrodos y esta pared por la tecnología de grabado/depósito/ensamblaje de los sistemas micro-electromecánicos MEMS y teniendo este micro-reflectrón un espesor inferior a 5 milímetros, mientras que sus otras dimensiones son inferiores a 10 veces este espesor.
Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E12153896.
Solicitante: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES.
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: BATIMENT "LE PONANT D" 25, RUE LEBLANC 75015 PARIS FRANCIA.
Inventor/es: DANEL,JEAN-SÉBASTIEN, DURAFFOURG,LAURENT, PROGENT,FRÉDÉRIC, TASSETTI,CHARLES-MARIE.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- B81B7/02 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS. › B81B DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA, p. ej. DISPOSITIVOS MICROMECANICOS (elementos piezoeléctricos, electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/00). › B81B 7/00 Sistemas de microestructura. › que tienen distintos dispositivos eléctricos u ópticos de particular importancia por su función, p.ej. sistemas micro-electromecánicos (SMEM, MEMS) (B81B 7/04 tiene prioridad).
- H01J49/40 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 49/00 Espectrómetros de partículas o tubos separadores de partículas. › Espectrómetros de tiempos de recorrido (H01J 49/36 tiene prioridad).
PDF original: ES-2675350_T3.pdf
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