Disposición analizadora para espectrómetro de partículas.

Un metodo para determinar al menos un parametro relacionado con particulas cargadas emitidas desde una muestra emisora de particulas (11),

que comprende las etapas de:

formar un haz de particulas de dichas particulas cargadas y transportar las particulas entre dicha muestra emisora de particulas (11) y una entrada (8) de una region de medicion (3) por medio de un sistema de lentes (13) que tiene un eje optico sustancialmente recto (15),

desviar el haz de particulas en al menos una primera direccion de coordenadas (x, y) perpendicular al eje optico del sistema de lentes antes de la entrada del haz de particulas en la region de medicion,

desviar el haz de particulas en al menos la misma al menos una primera direccion de coordinadas (x, y) al menos una segunda vez dentro del sistema de lentes y antes de la entrada del haz de particulas en la region de medicion,

detectar las posiciones de dichas particulas cargadas en dicha region de medicion, siendo las posiciones indicativas de dicho al menos un parametro,

caracterizado por que

el sistema de lentes se acciona en modo de resolucion angular, de manera que las particulas cargadas emitidas con el mismo angulo contra el eje optico se enfocan al mismo punto en el plano de la entrada de la region de medicion.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/SE2012/050251.

Solicitante: Scienta Omicron AB.

Nacionalidad solicitante: Suecia.

Dirección: Box 15120 750 15 Uppsala SUECIA.

Inventor/es: WANNBERG,BJÖRN.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01N23/2273
  • H01J37/05 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Dispositivos electronópticos o ionópticos para la separación de electrones o de iones en función de su energía (tubos separadores de partículas H01J 49/00).
  • H01J49/06 H01J […] › H01J 49/00 Espectrómetros de partículas o tubos separadores de partículas. › Dispositivos electronópticos o ionópticos (H01J 49/04 tiene prioridad).
  • H01J49/48 H01J 49/00 […] › que utilizan analizadores electrostáticos, p. ej. sector cilíndrico, filtro de Wien.

PDF original: ES-2687794_T3.pdf

 

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