Dispositivo de pulverización de plasma, así como un método para controlar el estado de un dispositivo de pulverización de plasma.
Dispositivo de pulverización de plasma, que comprende un soplete de plasma (2) para calentar un polvo de pulverización (3) en una zona de calentamiento (4),
y una unidad de dosificación (5) para dosificar el polvo de pulverización (3), cuya unidad de dosificación (5) para transportar el polvo de pulverización (3) a una unidad de inyector (6) por medio de gas de transporte (7) que se encuentra bajo una presión fijable, a través de una tubería de gas de transporte (8) está unida con una unidad de gas de transporte (9), en donde la unidad de inyector (6) comprende una entrada (61) y una salida (62) configurada como inyector de polvo (62), de modo que a la unidad de inyector (6) por medio del gas de transporte (7) se puede alimentar a través de una tubería de inyector (10) el polvo de pulverización (3) de la unidad de dosificación (5) a través de la entrada (61), en donde la unidad de inyector (6) está configurada y dispuesta de manera que el polvo de pulverización (3) puede ser introducido por medio del gas de transporte (7) que sale del inyector de polvo (62) en la zona de calentamiento (4), caracterizado por que para vigilar el estado del dispositivo de pulverización de plasma está previsto un sensor de presión (11) para determinar la presión (P) del gas de transporte (7), y por que una unidad de vigilancia (12) comprende una unidad de control (13) para controlar y/o regular la presión (P) del gas de transporte (7) y/o un caudal de paso del gas de transporte (7) y/o una cantidad de alimentación del polvo de pulverización (3) y/o una entalpía de plasma del chorro de plasma y/u otros parámetros de funcionamiento y/o un componente del sistema del dispositivo de pulverización de plasma.
Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E05405473.
Solicitante: Oerlikon Metco AG, Wohlen.
Nacionalidad solicitante: Suiza.
Dirección: Rigackerstrasse 16 5610 Wohlen SUIZA.
Inventor/es: KOENIG, PETER, DR.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- H05H1/36 ELECTRICIDAD. › H05 TECNICAS ELECTRICAS NO PREVISTAS EN OTRO LUGAR. › H05H TECNICA DEL PLASMA (tubos de haz iónico H01J 27/00; generadores magnetohidrodinámicos H02K 44/08; producción de rayos X utilizando la generación de un plasma H05G 2/00 ); PRODUCCION DE PARTICULAS ACELERADAS ELECTRICAMENTE CARGADAS O DE NEUTRONES (obtención de neutrones a partir de fuentes radiactivas G21, p. ej. G21B, G21C, G21G ); PRODUCCION O ACELERACION DE HACES MOLECULARES O ATOMICOS NEUTROS (relojes atómicos G04F 5/14; dispositivos que utilizan la emisión estimulada H01S; regulación de la frecuencia por comparación con una frecuencia de referencia determinada por los niveles de energía de moléculas, de átomos o de partículas subatómicas H03L 7/26). › H05H 1/00 Producción del plasma; Manipulación del plasma (aplicación de la técnica del plasma a reactores de fusión termonuclear G21B 1/00). › Disposiciones de circuitos (H05H 1/38, H05H 1/40 tienen prioridad).
- H05H1/42 H05H 1/00 […] › con disposiciones para la introducción de materiales en el plasma, p. ej. polvo, líquido (pulverización electrostática, aparatos de pulverización con medios para cargar eléctricamente el pulverizante B05B 5/00).
PDF original: ES-2654938_T3.pdf
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