Puerta para cámara de vacío.

Una puerta para una cámara de vacío,

teniendo la cámara (10) una abertura en una superficie de la misma;

estando la puerta (30) adaptada para girar para abrir o cerrar la abertura de la cámara; y comprendiendo:

una placa (70) de guía sujeta a una superficie exterior de la puerta (30) de una manera tal como para separarse de la puerta (30) por un intervalo predeterminado, estando la placa (70) de guía acoplada de forma giratoria en un extremo de la misma a un conjunto (60) de bisagra, caracterizada por que las primeras ranuras (32) están formadas a intervalos regulares en una superficie de la puerta (30) que contacta con la placa (70) de guía, y unas segundas ranuras (72) están formadas en la placa (70) de guía para corresponderse a las primeras ranuras (32) en la puerta (30), de manera que, cuando la placa (70) de guía contacta con la puerta (30), se define un espacio (92) que tiene un tamaño predeterminado entre las ranuras (32, 72) primera y segunda,

un elemento (90) elástico, que está instalado en el espacio (92), está fijado en un primer extremo del mismo a una superficie interior de cada una de las primeras ranuras (32) en la puerta (30), y está fijado en un segundo extremo del mismo a una superficie interior de cada una de las segundas ranuras (72) en la placa (70) de guía, y

un bloque (86) está sujeto a la placa (70) de guía, estando el bloque 86 adaptado para aumentar la resistencia de la placa (70) de guía, y tiene un orificio para guiar un buje (84) de guía.

Puerta para cámara de vacío Campo de la técnica La presente invención se refiere, en general, a una puerta para una cámara de vacío y, más específicamente, a una puerta para una cámara de vacío, que se usa para poner un artículo en la cámara, y está construida para evitar que la puerta se deforme por una carga de flexión cuando se crea un vacío en la cámara de vacío.

Estado de la técnica

Como es bien conocido por los expertos en la materia, los métodos de uso de plasma, que es el cuarto estado de la materia, y es distinto de los tres estados de la materia, a saber, sólido, líquido, y gas, que se han adoptado ampliamente en todos los campos industriales.

Por ejemplo, con el fin de fabricar semiconductores y pantallas planas, así como luces fluorescentes y luces de neón, que se usan ampliamente en la vida diaria, se requieren diversos procesos de fabricación. Entre los procesos de fabricación, el proceso de fabricación de una oblea o sustrato incluye etapas unitarias, como una etapa de grabado en seco, una etapa de deposición de vapor físico o químico, una etapa de lavado fotorresistente, etc. En estas etapas unitarias, el plasma se usa ampliamente.

Además, el método del uso de plasma se usa para desinfectar o esterilizar artículos en los que la presencia de gérmenes es inaceptable, tales como los instrumentos médicos.

Al solicitante de la presente invención se le han concedido muchas patentes para un esterilizador de plasma, que esteriliza un artículo, tal como un instrumento médico, usando peróxido de hidrógeno, y descomponiendo el peróxido de hidrógeno usado en una materia no tóxica usando plasma, antes de descargar la materia no tóxica fuera del esterilizador. Como se muestra en la figura 1, un esterilizador 10 de plasma está provisto de una cámara 20 de vacío, en la que se forma un vacío. Una puerta 30 está montada en una superficie de la cámara 20, y se usa para insertar un artículo que debe esterilizarse, tal como un instrumento médico, en la cámara.

Solo una de las superficies de la cámara 20 está abierta, y el resto de la cámara está herméticamente sellada. La puerta 30 está montada en la superficie abierta de la cámara con el fin de abrirla o cerrarla.

Una placa 40 base, que está abierta en una parte central de la misma, está montada en la abertura de la cámara 20. La puerta 30 se proporciona en la parte delantera de la placa 40 base con el fin de abrir o cerrar la abertura central de la placa base. La puerta 30 está acoplada en un extremo de la misma a un extremo de la placa 40 base a través de un conjunto 50 de bisagra. Por lo tanto, como la puerta 30 gira alrededor del conjunto 50 de bisagra con relación a la placa 40 base, la cámara se abre o se cierra.

La puerta 30 gira alrededor del conjunto 50 de bisagra, abriendo por lo tanto la abertura de la placa 40 base y la abertura que se proporciona en una superficie de la cámara 20. El artículo que debe esterilizarse, tal como el instrumento médico, se pone en la cámara a través de las aberturas. Posteriormente, la puerta 30 gira de nuevo alrededor del conjunto 50 de bisagra, cerrando por lo tanto la abertura de la placa 40 base y la abertura de la cámara 20.

En este estado, el plasma se genera en la cámara 20, de manera que se esteriliza el artículo.

En este caso, con el fin de esterilizar el artículo usando el plasma generado en la cámara 20, debe crearse un vacío en la cámara 20. Cuando se crea el vacío en la cámara 20, se tira de la puerta 30 hacia la cámara 20 mediante la presión atmosférica externa.

Como tal, si se tira de la puerta 30 repetidamente hacia la cámara 20 cada vez que la cámara 20 se evacua, el conjunto 50 de bisagra de la puerta 30 puede deformarse debido a la carga. De este modo, la totalidad de la puerta 30 puede distorsionarse.

Es decir, el conjunto 50 de bisagra de la puerta 30 está montada en solo un extremo de la puerta 30. Por lo tanto, cuando se tira de la puerta 30 hacia el interior en relación con la cámara 20 debido al vacío en la cámara 20, el esfuerzo se concentra en el conjunto 50 de bisagra. Por lo tanto, cuando el conjunto 50 de bisagra se deforma debido a una carga, y por lo tanto la puerta 30 se distorsiona, la puerta 30 no puede cerrar perfectamente la cámara 20. Como resultado, es difícil crear un vacío en la cámara 20.

Por consiguiente, la puerta 30 debe sustituirse frecuentemente con una nueva, de manera que se incrementa el coste de mantenimiento. El documento US 4.044.918 divulga una puerta de acceso rápido y alta temperatura, para cámaras de alto vacío, que comprende una cámara que tiene una abertura en una superficie de la misma. Se proporciona un disco de sellado en un brazo de soporte para abrir o cerrar, de forma giratoria, la abertura de la cámara. Este brazo de soporte está sujeto a una superficie exterior de la puerta de una manera tal como para separarse de la puerta por un intervalo predeterminado y el brazo de soporte se acopla de forma giratoria en un extremo del mismo a un conjunto de bisagra. Este disco de sellado se hará funcionar manualmente para cerrarse y abrirse mediante un perno de empuje, con lo que una trayectoria del movimiento del disco de sellado es a lo largo del eje del disco de sellado.

(Divulgación)

(Problema técnico)

Por consiguiente, la presente invención se ha realizado teniendo en cuenta los problemas anteriores que ocurren en la técnica anterior, y un objeto de la presente invención es proporcionar una puerta para una cámara de vacío, que se construye para evitar que la puerta, para abrir o cerrar una abertura formada en la superficie de la cámara, se deforme por una carga de flexión generada durante la evacuación de la cámara, creando por lo tanto de manera fiable un vacío en la cámara, y reduciendo el coste de mantenimiento de la puerta.

(Solución técnica)

Con el fin de lograr el objeto anterior, la presente invención proporciona una puerta para una cámara de vacío, que incluye una cámara que tiene en una superficie de la misma una abertura; una puerta giratoria para abrir o cerrar la abertura de la cámara; y una placa de guía que está sujeta a una superficie exterior de la puerta de una manera tal como para separarse de la puerta por un intervalo predeterminado, y que está acoplada de forma giratoria en un extremo de la misma a un conjunto de bisagra.

Además, las primeras ranuras se forman a intervalos regulares en una superficie de la puerta que contacta con la placa de guía, y las segundas ranuras se forman en la placa de guía para corresponder a las primeras ranuras en la puerta, de manera que, cuando la placa de guía contacta con la puerta, se define un espacio que tiene un tamaño predeterminado entre las ranuras primeras y segundas. Además, un elemento elástico que está instalado en el espacio, está fijado en un primer extremo del mismo a una superficie interior de cada una de las primeras ranuras en la puerta, y está fijado a un segundo extremo del mismo a una superficie interna de cada una de las segundas ranuras en la placa de guía.

Además, un bloque está sujeto a la placa de guía, que aumenta la fuerza de la placa de guía, y tiene un orificio para guiar el buje de guía.

La puerta incluye orificios de sujeción que tienen preferentemente una profundidad predeterminada a intervalos regulares, y la placa de guía incluye orificios pasantes correspondientes a los orificios de sujeción, de manera que un elemento de sujeción pasa a través de un orificio pasante correspondiente y se fija en un extremo del mismo al orificio de sujeción correspondiente, fijando de este modo la placa de guía de la puerta.

Cada una de las primeras ranuras en la puerta se forman preferentemente alrededor de un orificio de sujeción correspondiente para tener una profundidad predeterminada, y cada una de las segundas ranuras en la placa de guía se forman alrededor de un orificio pasante correspondiente para tener una profundidad predeterminada.

Preferentemente, el elemento elástico comprende un resorte helicoidal.

Preferentemente, la puerta incluye además un buje de guía que tiene un orificio a través del cual pasa el elemento de sujeción. El buje de guía incluye una primera parte que pasa a través de un orificio pasante correspondiente en la placa de guía y se desliza un intervalo predeterminado en el espacio, y una segunda parte que tiene un diámetro más grande que el orificio pasante en la placa de guía y se detiene mediante una superficie externa de la placa de guía.

Cuando el extremo del elemento de sujeción está completamente sujeto a cada una de las primeras ranuras en la puerta, se define un hueco predeterminado preferentemente... [Seguir leyendo]

1. Una puerta para una cámara de vacío,

teniendo la cámara (10) una abertura en una superficie de la misma;

estando la puerta (30) adaptada para girar para abrir o cerrar la abertura de la cámara; y comprendiendo:

una placa (70) de guía sujeta a una superficie exterior de la puerta (30) de una manera tal como para separarse de la puerta (30) por un intervalo predeterminado, estando la placa (70) de guía acoplada de forma giratoria en un extremo de la misma a un conjunto (60) de bisagra, caracterizada por que las primeras ranuras (32) están formadas a intervalos regulares en una superficie de la puerta (30) que contacta con la placa (70) de guía, y unas segundas ranuras (72) están formadas en la placa (70) de guía para corresponderse a las primeras ranuras (32) en la puerta (30) , de manera que, cuando la placa (70) de guía contacta con la puerta (30) , se define un espacio (92) que tiene un tamaño predeterminado entre las ranuras (32, 72) primera y segunda,

un elemento (90) elástico, que está instalado en el espacio (92) , está fijado en un primer extremo del mismo a una superficie interior de cada una de las primeras ranuras (32) en la puerta (30) , y está fijado en un segundo extremo del mismo a una superficie interior de cada una de las segundas ranuras (72) en la placa (70) de guía, y

un bloque (86) está sujeto a la placa (70) de guía, estando el bloque 86 adaptado para aumentar la resistencia de la placa (70) de guía, y tiene un orificio para guiar un buje (84) de guía.

2. La puerta de acuerdo con la reivindicación 1, en la que la puerta (30) comprende orificios (34) de sujeción que tienen una profundidad predeterminada a intervalos regulares, y la placa (70) de guía comprende orificios (74) pasantes correspondientes a los orificios (34) de sujeción, de manera que un elemento (82) de sujeción pasa a través de un orificio (74) pasante correspondiente y se fija en un extremo del mismo al orificio (34) de sujeción correspondiente, sujetando de esta manera la placa (70) de guía a la puerta.

3. La puerta de acuerdo con la reivindicación 2, en la que cada una de las primeras ranuras (32) en la puerta (30) se forma alrededor de un orificio de sujeción correspondiente para tener una profundidad predeterminada, y cada una de las segundas ranuras (72) en la placa (70) de guía se forma alrededor de un orificio pasante correspondiente para tener una profundidad predeterminada.

4. La puerta de acuerdo con la reivindicación 1, en la que el elemento (90) elástico comprende un resorte helicoidal.

5. La puerta de acuerdo con la reivindicación 2, que comprende además:

un buje (84) de guía que tiene un orificio a través del que pasa el elemento (82) de sujeción, y que comprende: una primera parte que pasa a través de un orificio pasante correspondiente en la placa (70) de guía, y que se desliza un intervalo predeterminado en el espacio (92) ; y una segunda parte que tiene un diámetro mayor que el orificio pasante en la placa de guía, y detenida por una superficie exterior de la placa (70) de guía.

6. La puerta de acuerdo con la reivindicación 5, en la que, cuando el extremo del elemento (82) de sujeción está completamente sujeto a cada una de las primeras ranuras (32) en la puerta, se define un hueco predeterminado entre la segunda parte del buje (84) de guía y la superficie exterior de la placa (70) de guía.

7. La puerta de acuerdo con la reivindicación 1, en la que se proporciona una placa (40) base, que tiene una abertura en una parte central de la misma, en una parte delantera de la abertura de la cámara (20) .

8. La puerta de acuerdo con la reivindicación 7, en la que el conjunto (60) de bisagra está montado en un extremo de la placa (40) base, y un extremo de la placa (70) de guía está acoplado de forma giratoria al conjunto (60) de bisagra.