Método para producir un polímero.

Un método para producir un polímero a través de polimerización viva,

que comprende: formar un oligómero que tiene un extremo activo de polimerización, que es un oligómero mayor que un mero promedio 1,0 y menor que un mero promedio 4,0 o un mero promedio 4,0, a partir de un monómero, y polimerizar usando el oligómero que tiene un extremo activo de polimerización como una especie de iniciación,

caracterizado por que el monómero es un éster (α-alquilo inferior)acrílico representado por la fórmula (I):**Fórmula**

en donde R1 representa un átomo de hidrógeno o un grupo alquilo inferior, y R2 representa un grupo orgánico que tiene un grupo polar.

Mïtodo para producir un polïmero Campo tïcnico La presente invenciïn se refiere a un mïtodo para producir ïcido acrïlico que es ïtil como un material de una protecciïn.

Fundamento de la tïcnica Como un material fotosensible para una protecciïn ArF se conoce, por ejemplo, un material sensible a la radiaciïn que comprende una resina (A) que tiene al menos un grupo funcional alicïclico que contiene un grupo polar, y una sustancia (B) que tiene al menos un grupo funcional capaz de generar un grupo soluble en ïlcali a travïs de un ïcido en una molïcula. Un copolïmero de un metacrilato de mono- o trihidroxiadamantilo y metacrilato de t-butilo, se enumera como la resina (A) y la resina es una resina que tiene transparencia a un lïser excïmero y es excelente en el desarrollo de propiedades y resistencia al grabado en seco (vïase Documento de Patente 1) .

Ademïs, se sabe que un polïmero basado en ïcido acrïlico que tiene un bajo peso molecular y distribuciïn estrecha de peso molecular es ïtil como un material fotosensible para una protecciïn ArF (vïase Documento de Patente 2) .

Documento de Patente 1: Solicitud de Patente No Examinada Japonesa, Primera Publicaciïn nïm. Hei 11-109632.

Documento de Patente 2: Solicitud de Patente No Examinada Japonesa, Primera Publicaciïn nïm. 2003-82010.

Descripciïn de la invenciïn Sin embargo, un material fotosensible convencional no necesariamente tiene suficiente rendimiento para la formaciïn de un diseïo de dimensiones minïsculas.

Un objeto de la presente invenciïn es proporcionar un mïtodo para producir un polïmero basado en ïcido acrïlico que es ïtil para la aplicaciïn tal como un material fotosensible de protecciïn que tiene un rendimiento que permite la formaciïn de un diseïo de dimensiones diminutas.

Los actuales inventores han estudiado de forma intensiva para alcanzar asï el objeto anterior y encontraron que el objeto anterior puede alcanzarse produciendo un polïmero que contiene una unidad de repeticiïn derivada de un ïster (α-alquilo inferior) acrïlico que tiene un grupo funcional especïfico como una parte del brazo de un polïmero en estrella o que controla un bajo peso molecular, y asï la presente invenciïn se ha completado.

Se describe lo siguiente.

(1) Un polïmero basado en ïcido acrïlico que es un polïmero en estrella que contiene una unidad de repeticiïn derivada de un ïster (α-alquilo inferior) acrïlico representada por la fïrmula (I) :

(en donde R1 representa un ïtomo de hidrïgeno o un grupo alquilo inferior, y R2 representa un grupo orgïnico que tiene un grupo polar) en una parte del brazo.

(2) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn (1) , en donde R2 de fïrmula (I) es un grupo funcional alicïclico que contiene un grupo polar, o un grupo funcional que contiene un anillo de lactona que contiene un grupo polar.

(3) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn (1) o (2) , en donde el grupo polar en R2 de fïrmula (I) es un grupo hidroxilo, un grupo hidroxilo protegido, un grupo carboxilo o un grupo ïster.

(4) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn cualquiera de (1) a (3) , en donde una parte del nïcleo es un nïcleo formado por reticulado de un agente de acoplamiento polifuncional.

(5) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn (4) , en donde el agente de acoplamiento polifuncional es un compuesto que tiene al menos dos dobles enlaces polimerizables por molïcula.

(6) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn (4) o (5) , en donde el agente de acoplamiento polifuncional es un poli (α-alquilo inferior) acrilato.

(7) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn cualquiera de (1) a (6) , en donde el polïmero que constituye la parte del brazo tiene un peso molecular promedio en nïmero de 5.000 o menos.

(8) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn cualquiera de (1) a (6) , en donde el polïmero que constituye la parte del brazo tiene un peso molecular promedio en nïmero de 4.000 o menos.

(9) Un polïmero basado en ïcido acrïlico que contiene una unidad de repeticiïn derivada de un poli (α-alquilo inferior) acrilato, y una unidad de repeticiïn derivada de un ïster (α-alquilo inferior) acrïlico representado por la fïrmula (I) :

(en donde R1 representa un ïtomo de hidrïgeno o un grupo alquilo inferior, y R2 representa un grupo orgïnico que tiene un grupo polar) .

(10) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn cualquiera de (1) a (9) , en donde una relaciïn de un peso molecular promedio en peso (Mw) a un peso molecular promedio en nïmero (Mn) , (Mw/Mn) , es de 1, 01 a 1, 50.

(11) Un polïmero basado en ïcido acrïlico que contiene una unidad de repeticiïn derivada de un ïster (α-alquilo inferior) acrïlico representado por la fïrmula (II) :

(en donde R3 representa un ïtomo de hidrïgeno o un grupo alquilo inferior, R4 representa un grupo funcional que contiene un esqueleto alicïclico, o un grupo funcional que contiene un anillo de lactona) y tiene un peso molecular promedio en nïmero (Mn) de 4.000 o menos.

(12) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn (11) , en donde R4 en la fïrmula (II) es un grupo funcional que contiene un grupo polar, o un grupo funcional que contiene anillo lactona que contiene un grupo polar.

(13) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn (11) o (12) , que es un copolïmero que contiene una unidad de repeticiïn derivada de un ïster (α-alquilo inferior) acrïlico distinto de una unidad de repeticiïn derivada de un ïster (αalquilo inferior) acrïlico representado por la fïrmula (II) .

(14) Un polïmero basado en ïcido acrïlico que contiene una unidad de repeticiïn derivada de un ïster (α-alquilo inferior) acrïlico representado por la fïrmula (II-1) :

(en donde R31 representa un ïtomo de hidrïgeno o un grupo alquilo inferior, y R41 representa un grupo funcional que contiene un esqueleto alicïclico que contiene un grupo hidroxilo y/o un grupo carboxilo, o un grupo funcional que contiene un anillo de lactona que contiene un grupo hidroxilo y/o un grupo carboxilo) y tiene un peso molecular promedio en nïmero (Mn) de 5.000 o menos.

(15) El polïmero basado en ïcido acrïlico segïn cualquiera de (10) a (14) , en donde una relaciïn de un peso molecular promedio en peso (Mw) a un peso molecular promedio en nïmero (Mn) , (Mw/Mn) , es de 1, 01 a 1, 30.

La presente invenciïn incluye lo siguiente.

(16) Un mïtodo para producir un polïmero a travïs de polimerizaciïn viva, que incluye formar un oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn, que es un oligïmero mayor que un mero promedio de 1, 0 y menor que un mero

promedio de 4, 0 o un mero promedio de 4, 0, y polimerizar usando el oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn como una especie de iniciaciïn,

caracterizado por que el monïmero es un ïster (α-alquilo inferior) acrïlico representado por la fïrmula (I) :

en donde R1 representa un ïtomo de hidrïgeno o un grupo alquilo inferior, y

R2 representa un grupo orgïnico que tiene un grupo polar.

(17) El mïtodo para producir un polïmero segïn (16) , en donde el monïmero se deja desaparecer en la etapa de formaciïn del oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn.

(18) El mïtodo para producir un polïmero segïn (16) o (17) , en donde el monïmero se aïade en al menos dos partes para formar el oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn.

(19) El mïtodo para producir un polïmero segïn cualquiera de (16) a (18) , en donde la polimerizaciïn viva es polimerizaciïn aniïnica.

(20) El mïtodo para producir un polïmero segïn cualquiera de (16) a (19) , en donde la formaciïn del oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn y/o polimerizaciïn se realizan bajo una condiciïn de -20ïC o inferior.

El polïmero basado en ïcido acrïlico obtenido por el mïtodo de la presente invenciïn tiene distribuciïn estrecha de peso molecular y es excelente en la capacidad de degradaciïn de ïcido, y es ademïs extremadamente excelente en la solubilidad en un disolvente, y por lo tanto es ïtil para un material de protecciïn. Segïn el mïtodo de la presente invenciïn, un polïmero que tiene distribuciïn estrecha de peso molecular puede producirse fïcilmente y de forma segura, y su valor en utilidad industrial es grande.

Mejor modo para llevar a cabo la invenciïn El polïmero basado en ïcido acrïlico obtenido por el mïtodo de la presente invenciïn es un polïmero en estrella en que una unidad de repeticiïn... [Seguir leyendo]

1. Un mïtodo para producir un polïmero a travïs de polimerizaciïn viva, que comprende:

formar un oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn, que es un oligïmero mayor que un mero promedio 1, 0 y menor que un mero promedio 4, 0 o un mero promedio 4, 0, a partir de un monïmero, y polimerizar usando el oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn como una especie de iniciaciïn, caracterizado por que el monïmero es un ïster (α-alquilo inferior) acrïlico representado por la fïrmula (I) :

en donde R1 representa un ïtomo de hidrïgeno o un grupo alquilo inferior, y R2 representa un grupo orgïnico que tiene un grupo polar.

2. El mïtodo para producir un polïmero segïn la reivindicaciïn 1, en donde el monïmero se deja desaparecer en la etapa de formaciïn del oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn.

3. El mïtodo segïn la reivindicaciïn 1 o 2, en donde el monïmero se aïade en al menos dos partes para formar el oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn.

4. El mïtodo para producir un polïmero segïn cualquiera de las reivindicaciones 1 a 3, en donde la polimerizaciïn 15 viva es polimerizaciïn aniïnica.

5. El mïtodo para producir un polïmero segïn cualquiera de las reivindicaciones 1 a 4, en donde la formaciïn del oligïmero que tiene un extremo activo de polimerizaciïn y/o polimerizaciïn se realizan bajo una condiciïn de -20ïC

o menos.

6. El mïtodo para producir un polïmero segïn cualquiera de las reivindicaciones 1 a 5, en donde el grupo orgïnico es un grupo funcional alicïclico que tiene un grupo polar o un grupo funcional que contiene un anillo de lactona que tiene un grupo polar.

7. El mïtodo para producir un polïmero segïn la reivindicaciïn 6, en donde el grupo polar se selecciona del grupo que consiste en un grupo hidroxilo, un grupo hidroxilo protegido, un grupo carboxilo y un grupo ïster.