Aparato y procedimiento para llevar a cabo un proceso de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PCVD).

Aparato (1) para llevar a cabo un proceso de deposición PCVD, donde una o más capa de vidrio dopado o sindopar son depositadas en el interior de un tubo de substrato de vidrio (2) teniendo un lado de admisión (4) y un ladode descarga (3), cuyo aparato (1) comprende un aplicador (6) que tiene una pared interior y una pared exterior y unaguía de microondas (7) para guiar microondas, cuya guía de microondas (7) se abre en el aplicador (6), con elaplicador (6) extendiéndose sobre un eje cilíndrico (10) y estando provisto con un canal adyacente a la cara interior,a través del cual las microondas suministradas mediante la guía de microondas (7) pueden salir, sobre cuyo ejecilíndrico (10) se dispone el tubo de substrato de vidrio (2), mientras el aplicador (6) está rodeado por un horno (5)que se extiende sobre dicho eje cilíndrico (10), cuyo aplicador es desplazable a lo largo del eje cilíndrico citado (10)entre un punto (9) de inversión situado en el lado de admisión y un punto de inversión (8) localizado en el lado dedescarga (3), caracterizado porque el horno (5) es desplazable en vaivén respecto del tubo de substrato (2) a lolargo del eje longitudinal de este, donde el aplicador (6) es desplazable dentro del horno (5).

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E07021689.

Solicitante: DRAKA COMTEQ B.V..

Nacionalidad solicitante: Países Bajos.

Dirección: DE BOELELAAN 7 1083 HJ AMSTERDAM PAISES BAJOS.

Inventor/es: Van Stralen,Mattheus Jacobus Nicolaas, Milicevic,Igor, Hartsuiker,Johannes Antoon, LINDERS MOLTHOFF,ANTONIUSHENRICUS JOHANNES PETRUS MARIA.

Fecha de Publicación: 29 de Agosto de 2012.

Clasificación Internacional de Patentes:

C03B37/018 QUIMICA; METALURGIA. › C03 VIDRIO; LANA MINERAL O DE ESCORIA. › C03B FABRICACION O MODELADO DE VIDRIO O DE LANA MINERAL O DE ESCORIA; PROCESOS SUPLEMENTARIOS EN LA FABRICACION O MODELADO DE VIDRIO O DE LANA MINERAL O DE ESCORIA (tratamiento de la superficie C03C). › C03B 37/00 Fabricación o tratamiento de fragmentos, fibras o filamentos a partir de vidrio, minerales o escorias reblandecidas. › por deposición de vidrio sobre un sustrato de vidrio, p. ej. por deposición química en fase vapor (C03B 37/016 tiene prioridad; tratamiento de la superficie del vidrio por recubrimiento C03C 17/02).

PDF original: ES-2392992_T3.pdf

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