REACTOR DE PLASMA PARA EL TRATAMIENTO DE SUSTRATOS DE GRAN SUPERFICIE.
Reactor de plasma de alta frecuencia (1, 20) acoplado capacitivamente,
que está constituido por: #- al menos dos electrodos (3, 5) distanciados, conductores de electricidad, con una superficie exterior (3a, 5a), que encierran un espacio interior de proceso (13), en el que se configura u plasma durante el funcionamiento del reactor, #- dispositivos de alimentación de gas (7) para la alimentación del espacio interior de proceso (13) con un gas reactivo, #- al menos un generador de alta frecuencia (9), que está conectado con al menos uno de los electrodos (3, 5) en un punto de conexión (9a), #- dispositivos (8) para la retirada del gas reactivo fuera del reactor, #- al menos un plano (15a) entre los electrodos (3, 5) para el alojamiento de un sustrato, como delimitación del espacio interior de proceso, #- al menos una capa dieléctrica (11) fuera del espacio interior de proceso, que está conectada como capacidad eléctricamente en serie con un sustrato (15) a procesar y con el plasma, #- en el que la capa dieléctrica (1) presenta zonas de capacidad superficiales no uniformes en al menos una dirección del plano (15a), caracterizado porque la capa dieléctrica (11) #- presenta un espesor (e1), que no es uniforme sobre la capa dieléctrica y es máximo en el lugar en el espacio de proceso (13), que está más alejado del punto de conexión (9 a), en el que el generador de alta frecuencia está conectado con el electrodo, #- en el que esta distancia se designa como camino más corto (150) a lo largo de la superficie exterior correspondiente de los electrodos y #- en el que este espesor disminuye desde dicho lugar en el espacio de proceso, en la medida en que se reduce la distancia entre este lugar y el punto de conexión en el electrodo correspondiente.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: OERLIKON TRADING AG, TRUBBACH.
Nacionalidad solicitante: Suiza.
Dirección: HAUPTSTRASSE, 9477 TRUBBACH.
Inventor/es: SCHMITT, JACQUES.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 29 de Abril de 2009.
Clasificación PCT:
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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