ESCALA CON UNA RED DE FASE REFLECTANTE.

Escala para un sistema de medición de la posición interferencial,

con una red de fase reflectante que presenta de forma alterna capas con alta refracción (6, 7) y capas con baja refracción (5a, 5b) en una pila de capas (3) reflectante, dispuesta sobre un sustrato (2), caracterizada por que las capas con alta refracción (6, 7) consisten en silicio y las capas con baja refracción (5a, 5b) consisten en dióxido de silicio

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E07002493.

Solicitante: DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: DR. JOHANNES-HEIDENHAIN-STRASSE 5,83301 TRAUNREUT.

Inventor/es: FLATSCHER,GEORG.

Fecha de Publicación: 27 de Noviembre de 2009.

Fecha Solicitud PCT: 6 de Febrero de 2007.

Fecha Concesión Europea: 12 de Agosto de 2009.

Clasificación Internacional de Patentes:

G01D5/347B
G01D5/38 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01D MEDIDAS NO ESPECIALMENTE ADAPTADAS A UNA VARIABLE PARTICULAR; DISPOSICIONES PARA LA MEDIDA DE DOS O MAS VARIABLES NO CUBIERTAS POR OTRA UNICA SUBCLASE; APARATOS CONTADORES DE TARIFA; DISPOSICIONES PARA TRANSFERENCIA O TRANSDUCTORES NO ESPECIALMENTE ADAPTADAS A UNA VARIABLE PARTICULAR; MEDIDAS O ENSAYOS NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR. › G01D 5/00 Medios mecánicos para la transferencia de la magnitud de salida de un elemento sensor; Medios para la conversión de la magnitud de salida de un elemento sensor en otra variable, en los que la forma o naturaleza del elemento sensor no determinan los medios de conversión; Transductores no especialmente adaptados a una variable específica (G01D 3/00 tiene prioridad; especialmente adaptados para aparatos que dan resultados distintos al valor instantáneo de una variable G01D 1/00). › mediante rejillas de difracción.

Clasificación PCT:

G01B5/18 G01 […] › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 5/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios mecánicos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 3/00 en sí G01B 3/00). › para la medida de la profundidad.
G01D5/347 G01D 5/00 […] › que utilizan escalas de codificación de desplazamiento.

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.

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