METODO DE ALAMBRADO METALICO PARA AGUJEROS CON SOCAVADURAS.

Se ha proporcionado un método de alambrado o cableado metálico para la conexión de un agujero que posee una socavadura en un proceso de empaquetamiento de un sistema mecánico microelectrónico (MEMS),

en donde el método comprende: - la disposición de un elemento MEMS (23) sobre un sustrato de silicio (22); - la soldadura de una oblea o disco de vidrio (24) a una parte superior del sustrato de silicio (22), que posee el elemento MEMS (23) dispuesto encima, la oblea de vidrio (24), posee un agujero (26) formado dentro para la conexión de un alambrado metálico de la parte de arriba de la oblea de vidrio (24) a la parte superior del sustrato de silicio (22) y que posee una socavadura (28) en la parte de abajo del agujero; - la deposición de una capa fina de metal (27) para el alambrado metálico en el agujero, caracterizado porque el método comprende adicionalmente, el bombardeo iónico a la capa fina de metal depositada en el fondo del agujero.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD..

Nacionalidad solicitante: República de Corea.

Dirección: 416, MAETAN-DONG, PALDAL-GU,SUWON-CITY, GYUNGGI-DO.

Inventor/es: SHONG,CI-MOO, CHUNG,SEOK-WHAN, KANG,SEOK-JIN, LEE,MOON-CHUL, JUNG,KYU-DONG, KIM,JONG-SEOK, JUN,CHAN-BONG, HONG,SEOG-WOO, KANG,JUNG-HO.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 10 de Octubre de 2003.

Fecha Concesión Europea: 19 de Septiembre de 2007.

Clasificación PCT:

  • B81B1/00 SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES.B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS.B81B DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA, p. ej. DISPOSITIVOS MICROMECANICOS (elementos piezoeléctricos, electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/00). › Dispositivos sin elementos móviles o flexibles, p.ej. dispositivos capilares microscópicos.
  • B81B7/00 B81B […] › Sistemas de microestructura.
  • B81C1/00 B81 […] › B81C PROCEDIMIENTOS O APARATOS ESPECIALMENTE ADAPTADOS PARA LA FABRICACION O EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA (fabricación de microcápsulas o de microbolas B01J 13/02; procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de elementos piezoeléctricos o electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/22). › Fabricación o tratamiento de dispositivos o de sistemas en o sobre un substrato (B81C 3/00 tiene prioridad).
  • H01L21/28 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctrica en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › Fabricación de electrodos sobre los cuerpos semiconductores por empleo de procesos o aparatos no cubiertos por los grupos H01L 21/20 - H01L 21/268.

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.

METODO DE ALAMBRADO METALICO PARA AGUJEROS CON SOCAVADURAS.

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