DISPOSITIVO PARA LA FIJACION DE UN ELECTRODO LAMINAR DE UN DISPOSITIVO DE POLIMERIZACION POR PLASMA.

Un dispositivo para la fijación de un electrodo laminar de un dispositivo para la polimerización por plasma,

comprendiendo dicho dispositivo de polimerización por plasma: una cámara de tratamiento (11, 21); una bomba de vacío (5, 6) para mantener las condiciones de vacío en la cámara; al menos un electrodo laminar (82) que se encuentra en la cámara para descargar alto voltaje; y un suministrador de corriente para aplicar corriente eléctrica al electrodo (82), comprendiendo dicho dispositivo para la fijación del electrodo laminar un sujetador de electrodos fabricado de material aislante, para recubrir y fijar la parte final del electrodo; y una sonda que atraviese la parte del sujetador de electrodos para conectar eléctricamente el electrodo y el dispositivo suministrador de corriente; estando dicho dispositivo para la fijación del electrodo laminar caracterizado por un sujetador interno (83) fabricado con una sustancia cilíndrica y conductora, que está fijado recubierto por la parte del sujetador del electrodo y al cual una de las partes finales del electrodo está conectada. en el que la parte del sujetador del electrodo incluye un sujetador superior (83), un sujetador inferior (80) y una parte combinada para combinar ambos sujetadores, y en el que el sujetador inferior incluye: un borne de fijación (84) para fijar el sujetador superior y el sujetador interno; y una separación que prevenga los medios (84a, 90, y 91) para prevenir la separación del borne de fijación.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: LG ELECTRONICS INC..

Nacionalidad solicitante: República de Corea.

Dirección: 20, YOIDO-DONG, YOUNGDUNGPO-KU,151-721 SEOUL.

Inventor/es: HA, SAM CHUL, YOUN,DONG-SIK.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 30 de Abril de 2008.

Clasificación PCT:

  • H01J37/32 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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