ACELEROMETRO OPTICO INTEGRADO.
Acelerómetro óptico integrado.
La presente invención se basa en un acelerómetro óptico de silicio con guías de onda integradas en el mismo dado pero con la novedad de que las guías de onda sólo están definidas en las zonas rígidas del acelerómetro evitando así los efectos negativos a nivel de esfuerzos mecánicos que pueden hacer estas guías sobre las estructuras móviles.
El dispositivo propuesto consta de una masa inercial de silicio sujeta por cuatro puentes y con una guía de onda centrada, de tal manera que se evitan las aceleraciones cruzadas. El principio de funcionamiento del acelerómetro se basa en el desalineaminento de guías de onda enfrentadas. Desde el punto de vista tecnológico se pueden utilizar obleas BESOI (Bond and Etch Back Silicon On Insulator) para facilitar la fabricación y permitir un mayor control sobre las estructuras y por tanto sobre las prestaciones de los dispositivos.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: CONSEJO SUP. INVESTIG. CIENTIFICAS
IKERLAN.
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: MADRID.
Inventor/es: PLAZA PLAZA,JOSE ANTONIO, LLOBERA ADAN,ANDREU, ESTEVE I TINTO,JAUME, DOMINGUEZ HORNA,CARLOS, BERGANZO,JAVIER, GARCIA,JORGE.
Fecha de Solicitud: 11 de Abril de 2002.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 1 de Febrero de 2006.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01P15/08 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01P MEDIDA DE VELOCIDADES LINEALES O ANGULARES, DE LA ACELERACION, DECELERACION O DE CHOQUES; INDICACION DE LA PRESENCIA, AUSENCIA DE MOVIMIENTO; INDICACION DE DIRECCIÓN DE MOVIMIENTO (midiendo la velocidad angular utilizando efectos giroscópicos G01C 19/00; dispositivos de medida combinados para medir dos o más variables de un movimiento G01C 23/00; medida de la velocidad del sonido G01H 5/00; medida de la velocidad de la luz G01J 7/00; medida de la dirección o de la velocidad de objetos sólidos por reflexión o reradiación de ondas radio u otras ondas basada en los efectos de propagación, p. ej. el efecto Doppler, el tiempo de propagación, la dirección de propagación, G01S; medida de la velocidad de radiaciones nucleares G01T). › G01P 15/00 Medida de la aceleración; Medida de la deceleración; Medida de los choques, es decir, de una variación brusca de la aceleración. › con conversión en valores eléctricos o magnéticos.
Clasificación PCT:
- G01P15/08 G01P 15/00 […] › con conversión en valores eléctricos o magnéticos.
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