PROCEDIMIENTO DE MICROSCOPIA Y MICROSCOPIO CON CAMPO PROXIMO EN REFLEXION.
EL PRESENTE INVENTO SE REFIERE A UN PROCEDIMIENTO DE MICROSCOPIA CONCAMPO PROXIMO EN REFLEXION,
DEL TIPO DE BARRIDO DE UNA SUPERFICIE (12) POR UNA SONDA OPTICA, COMO, PARTICULARMENTE, UNA GUIA DE ONDAS (18) EN LA QUE SE INYECTA UNA ONDA ELECTROMAGNETICA PREFERENTEMENTE COHERENTE, POR EJEMPLO EMITIDA POR UN LASER (2), PROCEDIMIENTO CARACTERIZADO PORQUE SE ACERCA EL EXTREMO (13) DE ESTA GUIA DE ONDAS (18) A UNA DISTANCIA D DE LA SUPERFICIE (12) A ESTUDIAR, COMO EL COEFICIENTE DE ACOPLAMIENTO ENTRE EL MODO PROPIO DE PROPAGACION DE DICHA GUIA DE ONDAS (18) Y EL MODO DE PROPAGACION DEL CAMPO ELECTRICO DE LA ONDA REFLEJADA POR DICHA SUPERFICIE (12), Y GUIADA EN RETORNO POR LA MISMA GUIA DE ONDAS (18), PRESENTA UN INCREMENTO EXPONENCIAL A MEDIDA QUE DICHO EXTREMO (13) SE APROXIMA A ESTA MISMA SUPERFICIE (12). EL CAMPO DEL INVENTO ES, PARTICULARMENTE, EL DE LA MICROSCOPIA POR BARRIDO, MEDIANTE ELEMENTOS PURAMENTE OPTICOS, Y CON RESOLUCIONES NANOMETRICAS. SE PUEDE IGUALMETE DESTINAR EL INVENTO AL CONTROL OPTICO DE LA DISTANCIA ENTRE UNA SUPERFICIE DADA Y UN INSTRUMENTO A DESPLAZAR POR ENCIMA DE DICHA SUPERFICIE, Y ESPECIALMENTE CUALQUIER INSTRUMENTO QUE SIRVA PARA LA MICROLITOGRAFIA DE LOS CIRCUITOS INTEGRADOS.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: SIM (SOCIETE D'INVESTISSEMENT DANS LA MICROSCOPIE) SA.
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: 16-18 BOULEVARD DE LA MARNE,F-89000 AUXERRE.
Inventor/es: DE FORNEL, FREDERIQUE, GOUDONNET, JEAN-PIERRE, CERRE, NATHALIE.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 1 de Marzo de 1995.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G02B21/00 FISICA. › G02 OPTICA. › G02B ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS (G02F tiene prioridad; elementos ópticos especialmente adaptados para ser utilizados en los dispositivos o sistemas de iluminación F21V 1/00 - F21V 13/00; instrumentos de medida, ver la subclase correspondiente de G01, p. ej. telémetros ópticos G01C; ensayos de los elementos, sistemas o aparatos ópticos G01M 11/00; gafas G02C; aparatos o disposiciones para tomar fotografías, para proyectarlas o para verlas G03B; lentes acústicas G10K 11/30; "óptica" electrónica e iónica H01J; "óptica" de rayos X H01J, H05G 1/00; elementos ópticos combinados estructuralmente con tubos de descarga eléctrica H01J 5/16, H01J 29/89, H01J 37/22; "óptica" de microondas H01Q; combinación de elementos ópticos con receptores de televisión H04N 5/72; sistemas o disposiciones ópticas en los sistemas de televisión en colores H04N 9/00; disposiciones para la calefacción especialmente adaptadas a superficies transparentes o reflectoras H05B 3/84). › Microscopios (oculares G02B 25/00; sistemas polarizantes G02B 27/28; microscopios de medida G01B 9/04; micrótomos G01N 1/06; técnicas o aparatos de sonda de barrido G01Q).
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