Estructuras de cadenas de fabricación a base de transportadores totalmente automatizados e informatizados adaptados a recipientes transportables estancos a presión.
Estructuras de cadenas de fabricación basadas en un transportador totalmente automatizadas e informatizadas (15) para el almacenamiento,
la manipulación y el transporte de elementos con vistas a su tratamiento en una multiplicidad de equipos de tratamiento (500), estando instalada dicha cadena de fabricación en un aire ambiente de una limpieza media e incluyendo: a) recipiente portátiles estancos a presión (100) del tipo constituido por un alojamiento en forma de caja (102) provisto de una abertura de acceso (104) hecha estanca por un medio que forma una puerta separable (124) y por un medio que forma una válvula inyectora de gas (129) que encierran una pieza en su recinto, b) un medio que forma transportador (401, 401-1), destinado a transportar dicho recipiente, c) un medio que forma una instalación de alimentación de gas (700, 700-1) que comprende una fuente de alimentación de gas neutro ultra puro comprimido (701) y un sistema de descarga (702), d) un medio que forma un dispositivo de repartición (300, 300-1) dotado de un sistema de distribución de gas, que comprende: un medio de almacenamiento/alimentación de gas (302, 302-1) que sirve para almacenar los recipientes y fundamentalmente constituido por una estructura que soporta un cierto número de estantes (309) en forma de puestos de soporte de recipiente, estando provisto cada estante de un medio que forma un inyector de gas (311) conectado a dicho medio que forma una instalación de alimentación de gas (700, 700-1), un medio de manipulación (301, 301-1) que sirve para transferir dichos recipientes entre dichos estantes y dicho medio que forma transportador, e) un medio que forma un dispositivo de enlace a presión (201, 201-1) concebido para recibir dichos recipientes y para transferir las piezas que se encuentran en ellos encerradas a un equipo de tratamiento (500, 501-1) y que comprende: un medio de recepción de recipiente (221A) que sirve para recibir/enviar un recipiente que proviene de/que va hacia, dicho medio que forma transportador, una zona de puerta o tamiz de carga a presión provista de un medio que forma un robot de transferencia (216) que sirve para unir dicho medio de recepción de recipiente con dicho equipo de tratamiento, un medio que forma accionador (225A, 225B) que sirve para desplazar dicho recipiente sobre dicho medio de recepción de recipiente, y f) un medio que forma ordenador (600) destinado a asegurar una orden de conjunto de dichos medios que forman transportador, medio que forma un dispositivo de repartición, medio que forma una instalación de alimentación de gas, medio que forma un dispositivo de enlace y dichos equipos de tratamiento.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: OLD ORCHARD ROAD,ARMONK, N.Y. 10504.
Inventor/es: GARRIC, GEORGES, LAFOND, ANDRE.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 18 de Octubre de 1995.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01L21/00 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas.
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